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愛(ài)德華半導(dǎo)體干泵EPX180L系列維修銷(xiāo)售

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廣東省東莞市品雅真空設(shè)備有限公司

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新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180 使用了的保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX系列主要特性和優(yōu)勢(shì)
1.占地面積小且重量輕 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。
2.受保護(hù)的泵機(jī)構(gòu) – EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
3.超清潔機(jī)構(gòu) – 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
4.非?？煽?– EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常每 5 年維修一次，地延長(zhǎng)了泵的使用壽命。
5.運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。

EPX 系列支持清潔和輕型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點(diǎn) 站應(yīng)用。
EPX 系列以極輕、極小的封裝提供工具上泵送功能，可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵采用已獲的單軸再生 Holweck® 分級(jí)機(jī)構(gòu)，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。
EPX 泵能夠以模塊化組件提供增強(qiáng)的性能，既可集成到制程工具，又可以遠(yuǎn)程安裝。此外，通過(guò)集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具輕松建立通信連接。

EPX180L/EPX180LE技術(shù)參數(shù)：

峰值速度	170 m3h-1
	105 ft3min-1
	2835 lmin-1
極限真空
	<1 x 104 mbar
	<7.5 x 10-5 Torr
	<1 x 10-2 Pa
預(yù)熱時(shí)間（達(dá)到標(biāo)稱(chēng)性能）	30 分鐘
入口法蘭	ISO63
出口法蘭	NW25
噪音	<59 dB(A)
水接頭	3/8 in 快速
最小冷卻水流速	2 lm-1
冷卻水溫度	15 – 35°C
電源供給	200/208 V，50/60 Hz 三相
極限功率	1.4 kW
電機(jī)額定功率	3.0 kW
TIM	C3
重量	43.5 kg

EPX180L訂貨號(hào)：
EPX180L 干泵 400V，3/8 水接頭
A
EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接頭
A
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A
EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干式泵 200V
A
EPX180L 干式泵 200V，3/8 水接頭
A
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接頭
A
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接頭
A

EPX180LE系列訂貨號(hào)：

EPX180LE 干泵 208V 無(wú) TIM 3/8 水接頭
A4194301
EPX180LE 干泵 400V 無(wú) TIM 3/8 水接頭
A
EPX180LE 干泵 208V 無(wú) TIM 1/4 水接頭
A
EPX180LE 干泵 400V 無(wú) TIM 1/4 水接頭
A
EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A
EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
A
EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A
EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接頭
A
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接頭
A

EPX180“N"系列包括一個(gè)可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應(yīng)用范圍擴(kuò)大為中等制程，在這類(lèi)制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
訂貨號(hào)：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
A

愛(ài)德華真空泵由于產(chǎn)品的多樣化，所以每一個(gè)型號(hào)都有著很大的系列，不同的系列應(yīng)用在不同的行業(yè)有著非常明顯的效果，因此，在購(gòu)買(mǎi)愛(ài)德華真空泵產(chǎn)品是需要謹(jǐn)慎選項(xiàng)，歡迎有任何愛(ài)德華真空泵需求的客戶。

關(guān)鍵詞：真空泵

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