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愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180N/NE維修

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愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180N/NE維修

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愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180N/NE系列產(chǎn)品是寄L/LE系列的防腐等級(jí)更高，運(yùn)用的行業(yè)工藝更加全面立體，的發(fā)揮了EPX系列的優(yōu)勢(shì)。
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180 使用了的保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX NE 系列的泵具有一個(gè)最終用戶控制器 (EUC)。通過最終用戶控制器可以實(shí)現(xiàn)獨(dú)立使用的本地控制，并能夠連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視。

優(yōu)勢(shì)技術(shù)：
EPX 泵系統(tǒng)在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內(nèi)無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統(tǒng)清潔，不會(huì)因?yàn)橄到y(tǒng)的排空而使油或液體回流到系統(tǒng)中。

泵裝有一個(gè) EMC 供應(yīng)過濾器和一個(gè)變換器驅(qū)動(dòng)，該驅(qū)動(dòng)可提供和控制泵馬達(dá)的電源。前蓋上的 LED 標(biāo)識(shí) EPX 泵的狀態(tài)。馬達(dá)速度取決于泵入口處的壓力。當(dāng)泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動(dòng)時(shí)，馬達(dá)會(huì)加速到某個(gè)速度，該速度受可以由變換器驅(qū)動(dòng)提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低，馬達(dá)速度會(huì)加快，直至該速度最終達(dá)到其預(yù)定的速度。如果入口處的壓力增大，則馬達(dá)速度會(huì)再次減慢。

泵的定子和封閉馬達(dá)通過集成化水冷回路進(jìn)行冷卻。因此，EPX 泵適合在不允許使用風(fēng)扇的潔凈室環(huán)境下使用。冷卻水供應(yīng)和回水管通過水接頭（由客戶指定）連接到泵。冷卻水的提供必須與環(huán)境條件（濕度和溫度）相當(dāng)，以便不會(huì)達(dá)到結(jié)露點(diǎn)。

EPX L 系列的泵不能進(jìn)行手動(dòng)操作；這些泵必須通過外部控制設(shè)備進(jìn)行控制和監(jiān)視，而控制設(shè)備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。

EPX 泵由四個(gè)振動(dòng)隔離器進(jìn)行支持。

泵保護(hù)傳感器可在出現(xiàn)故障狀態(tài)時(shí)自動(dòng)關(guān)閉泵。
應(yīng)用：
EPX 系列涵蓋廣泛的應(yīng)用，從水處理到中度工作負(fù)載的制程。

EPX“L"系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負(fù)荷鎖定）且通過制程機(jī)臺(tái)接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。

EPX180N/NE系列應(yīng)用：
負(fù)載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質(zhì)刻蝕
EPX 系列涵蓋廣泛的應(yīng)用，從水處理到中度工作負(fù)載的制程。

性能參數(shù)：

峰值速度	170 m3h-1
	105 ft3min-1
	2835 lmin-1
極限真空
	<1 x 10-4 mbar
	<7.5 x 10-5 Torr
	<1 x 10-2 Pa
預(yù)熱時(shí)間（達(dá)到標(biāo)稱性能）	30 分鐘
入口法蘭	ISO63
出口法蘭	NW25
噪音	<59 dB(A)
水接頭	3/8 in 快速
最小冷卻水流速	2 lmin-1
冷卻水溫度	15 – 35°C
氮?dú)夤┙o接口	1/4 in (6.5 mm) 管
氮?dú)夤┙o壓力	3 x 105 – 7 x 105 Pa
氮純度	99.95%
電源供給	200/208 V，50/60 Hz 三相
極限功率	1.4 kW
電機(jī)額定功率	3.0 kW
TIM	C3
重量	43.5 kg

訂貨號(hào)：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
A

EPX180NE訂貨號(hào)：
EPX180NE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
A
EPX180NE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A
EPX180NE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
A
EPX180NE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A

EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
A
EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 1/4 水接頭
A
EPX180NE 干泵 208V LAM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180NE 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180NE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A
EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 1/4 水接頭
A
EPX180NE 干式泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
A

性能優(yōu)勢(shì)：
緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
低運(yùn)行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可功率效率。
的保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
超清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非?？煽?– EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的 IPX 技術(shù)，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，地延長(zhǎng)了泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡(luò) – EPX 系列配有最終用戶控制，可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。

愛德華真空泵種類繁多，型號(hào)豐富，對(duì)于不同的型號(hào)有這很多的分類，因此在購買愛德華真空泵時(shí)一定要注意選型，選擇客戶需求的產(chǎn)品，歡迎有需要愛德華真空泵的客戶選型問題：楊生

關(guān)鍵詞：過濾器隔離器水處理真空泵

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