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廣東省東莞市品雅真空設備有限公司

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愛德華新型干泵EPX500N/NE系列

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更新時間：2025-05-14 09:58:02瀏覽次數(shù)：170次

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廣東省東莞市品雅真空設備有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

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產(chǎn)品簡介

愛德華新型干泵EPX500N/NE系列,全國愛德華新型干泵EPX500N/NE系列代理商

詳細介紹

愛德華新型干泵EPX500N/NE系列,全國愛德華新型干泵EPX500N/NE系列代理商，四川德陽愛德華新型干泵EPX500N/NE系列維修保養(yǎng)，愛德華新型干泵EPX500N/NE系列使用壽命，半導體行業(yè)愛德華新型干泵EPX500N/NE系列，歡迎：楊生

東莞市品雅真空設備有限公司多年來一直從事進口真空泵的銷售和維修，我們主要經(jīng)營銷售的品牌有，萊寶，愛德華，安捷倫，瓦里安，阿，阿爾卡特，漢鐘等，常年現(xiàn)貨供應各種進口真空泵的維修配件，耗材，真空泵油等。

新的緊湊型 EPX500 N/NE高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

EPX“N"系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應用范圍擴大為中等制程，在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。

模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

行業(yè)應用：
負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質刻蝕
EPX 系列涵蓋廣泛的應用，從水處理到中度工作負載的制程。

EPX500N/NE性能參數(shù)：

峰值速度	500 m3h-1
	295 ft3min-1
	8338 lmin-1
極限真空
	<1 x 10-6 mbar
	<7 x 10-7 Torr
	<1 x 10-4 Pa
預熱時間（達到標稱性能）	30 分鐘
入口法蘭	ISO160
出口法蘭	NW25
噪音	<59 dB(A)
最小冷卻水流速	2 lmin-1
冷卻水溫度	15 – 35°C
氮氣供給接口	1/4 in (6.5 mm) 管
氮氣供給壓力	3 x 105 – 7 x 105 Pa
氮純度	99.95%
電源供給	200/208 V，50/60 Hz，3 相
極限功率	1.4 kW
電機額定功率	3.0 kW
TIM	C3
重量	45.2 kg

EPX500N訂貨號：

EPX500N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX500N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V TEL TIM 1/4 水接頭
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EPX500N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干式泵 400V，3/8 水接頭
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EPX500NE訂貨號：
EPX500NE 208V 無 TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V 無 TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 208V 無 TIM 1/4 水接頭
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EPX500NE 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX500NE 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V TEL TIM 1/4 水接頭
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EPX500NE 208V LAM TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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性能優(yōu)勢：
緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。
超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非?？煽?– EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡 – EPX 系列配有最終用戶控制，可以連接到各種結構的網(wǎng)絡，以進行診斷監(jiān)視和控制。

關鍵詞：真空泵水處理

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