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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

北京正通遠恒科技有限公司


原子層沉積系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號ALD P-200 Pro

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：劉小姐查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-06-29 09:58:26瀏覽次數(shù)：960次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：64條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：劉小姐 （市場）

產(chǎn)品簡介

PICOSUN™ P系列量產(chǎn)ALD系統(tǒng)定義了高產(chǎn)量ALD的新時代。我們?nèi)詣踊?、真空集群與產(chǎn)線兼容的原子層沉積系統(tǒng)確保了zui大的產(chǎn)出效率，并且具有*的工藝純度和薄膜均勻性，甚至能*具有zui嚴格要求的半導體行業(yè)標準。P系列ALD高效緊湊的設計節(jié)約了昂貴的場地成本，系統(tǒng)的易維護性減少了停工期。

詳細介紹

原子層沉積系統(tǒng)技術參數(shù)
襯底尺寸和類型

zui大300mm晶圓/單片
200mm晶圓25片/批次（標準間距）
150mm晶圓50片/批次（標準間距）
100mm晶圓75片/批次（標準間距）
高深寬比（HAR）樣品
原子層沉積系統(tǒng)工藝溫度

50 –500 °C
基片傳送選件

預真空室安裝磁力操作機械手（Load lock ）
半自動的機械裝載
集群系統(tǒng)的批量裝載（Cassette-to-cassette ）
批量裝載，帶翻轉(zhuǎn)傳送系統(tǒng)（flipping mechanism）
真空批量裝載
氮氣柜裝載
前驅(qū)體

液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源、等離子體
源瓶容量傳感器，并提供清洗和裝源服務
6根獨立源管線，zui多加載12個前驅(qū)體源
重量

820 kg
尺寸 (W x H x D)

160 cm x 80 cm x 240 cm
選件

集群工具，PICOFLOW? 擴散增強器，集成橢偏儀，QCM，RGA，N2發(fā)生器，尾氣處理
器，定制設計，手套箱集成（用于惰性氣體下裝載），與工廠軟件連接服務。
驗收標準

標準設備驗收標準為 Al2O3 工藝，
其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應用特別驗收標準如：
--不均勻性
--顆粒物含量
--重金屬污染
--電學性能 

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