JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺(tái)

JKZC-ST-X-100 X軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

1、典型應(yīng)用

光學(xué)對(duì)準(zhǔn)

納米壓印

顯微成像/操縱

光柵刻寫

雙光子聚合

光學(xué)移相

晶圓檢測(cè)

表面檢測(cè)

測(cè)量技術(shù)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點(diǎn)

超高定位精度

高動(dòng)態(tài)

無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描

 3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)

*真空版型號(hào):JKZC-ST-X-100-HV

5、適配控制器