JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)

五軸重載荷壓電平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

1、典型應(yīng)用

大口徑鏡頭測(cè)量

大型光機(jī)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)

大幅面干涉測(cè)量

鏡組準(zhǔn)直與穩(wěn)定

納米壓印

顯微成像/操縱

測(cè)量技術(shù)

集成電路檢測(cè)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點(diǎn)

亞納米級(jí)定位穩(wěn)定性

納米級(jí)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨力

無(wú)摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

大負(fù)載

空間多白由度

各級(jí)真空兼容性

3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)

5、適配控制器