運(yùn)動(dòng)自由度

X

X

Z

Z

驅(qū)動(dòng)控制

1路驅(qū)動(dòng)，1路傳感

1路驅(qū)動(dòng)

1路驅(qū)動(dòng)，1路傳感

1路驅(qū)動(dòng)

標(biāo)稱(chēng)行程范圍（0~120V）

160

160

160

160

μm±20%

Max.行程范圍（0~150V）

200

200

200

200

μm±20%

傳感器類(lèi)型

SGS

-

SGS

-

分辨率

5.5

0.2

5.5

0.2

nm

閉環(huán)線性度

0.05

-

0.15

-

%F.S.

重復(fù)定位精度

0.02

-

0.06

-

%F.S.

俯仰 / 偏航 / 滾動(dòng)

＜20

＜20

＜10

＜10

μrad

推 / 拉力

-

-

70/6

70/6

N

真空環(huán)境

10^-4

10^-4

-

-

Pa

運(yùn)動(dòng)方向剛度

-

-

0.45

0.45

N/μm±20%

空載諧振頻率

0.3

0.3

0.18

0.18

kHz±20%

閉 / 開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

20

0.8

10

0.8

ms±20%

承載能力

水平安裝

0.5

0.5

0.5

0.5

kg

立式安裝

0.03

0.03

0.03

0.03

kg

倒置安裝

0.5

0.5

0.03

0.03

kg

靜電容量

3.6

3.6

3.6

3.6

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

重量

-

-

170

170

g±5%

位移與電壓曲線

-

-

諧振頻率與負(fù)載曲線

-

-

線性度曲線

-

-

釋義

 將PZT平臺(tái)水平放置安裝，運(yùn)動(dòng)面位于PZT平臺(tái)的上方，運(yùn)動(dòng)面與水平面平行。

PS：參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向

 將PZT平臺(tái)立式放置安裝，運(yùn)動(dòng)面與重力方向平行

PS：存在多種立式安裝方式，技術(shù)參數(shù)對(duì)應(yīng)低承載

將PZT平臺(tái)水平放置，但運(yùn)動(dòng)面位于定位臺(tái)的下方

示意圖

備注

當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí)，需注意出線口