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產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	加工定制	否

JKZC780 系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)

JKZC780 系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)

產(chǎn)品介紹：

JKZC780 系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)可實(shí)現(xiàn)一維 X 向運(yùn)動(dòng)，有 50μm、150μm 和 200μm 三種行程可選。平臺(tái)內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn) 200μm 位移。閉環(huán)版本全橋設(shè)計(jì)避免了溫度的漂移，確保了納米級(jí)定位精度。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、一維 X 向運(yùn)動(dòng) 2、可選水平 / 立式 / 倒置使用 3、行程可達(dá) 200μm

4、分辨率可達(dá) 0.5nm 5、真空版本可選

JKZC780 系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：

1、光學(xué)檢測(cè) 2、表面檢測(cè) 3、納米定位

4、光學(xué)領(lǐng)域 5、半導(dǎo)體

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)		尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	JKZC780.50S JKZC780.50K	JKZCD780.150S JKZC780.150K	JKZC780.200S JKZC780.200K	單位
運(yùn)動(dòng)自由度			X	X	X
驅(qū)動(dòng)控制			1路驅(qū)動(dòng)，1路傳感	1路驅(qū)動(dòng)，1路傳感	1路驅(qū)動(dòng)，1路傳感
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）			40	120	160	μm±10%
Max.行程范圍（0~150V）			50	150	200	μm±10%
驅(qū)動(dòng)形式			直驅(qū)機(jī)構(gòu)式	放大機(jī)構(gòu)式	放大機(jī)構(gòu)式
傳感器類型			SGS/-	SGS/-	SGS/-
分辨率			2/0.5	5/1.5	7/2	nm
線性度			0.01/-	0.03/-	0.05/-	%F.S.
重復(fù)定位精度			0.02/-	0.01/-	0.02/-	%F.S.
承載能力	水平安裝		5	5	5	kg
	立式安裝		0.05或5	0.05或5	0.05或5
	倒置安裝		5	5	5
空載諧振頻率			2200	760	700	Hz±20%
帶載諧振頻率@5Kg			160	100	85	Hz±20%
階躍時(shí)間@5kg			15@5kg（1V）/7.5	30/4	50@5kg（1V）/10	ms±20%
靜電容量			10.2	27.2	27.2	μF±20%
材質(zhì)			鋼、鋁	鋼、鋁	鋼、鋁
重量（含線）			450	1000	＜1051	g±5%