探針臺(tái)操作說(shuō)明目錄

1、探針臺(tái)的功能  4
2、探針臺(tái)硬件結(jié)構(gòu)  5
3、各部件的具體使用方法  6
4、常見(jiàn)故障維護(hù)與支持 16

   
1、探針臺(tái)的功能
（1）集成電路失效分析
（2）晶圓可靠性認(rèn)證
（3）元器件特性量測(cè)
（4）塑性過(guò)程測(cè)試(材料特性分析)
（5）制程監(jiān)控
（6）IC封裝階段打線品質(zhì)測(cè)試
（7）液晶面板的特性測(cè)試
（8）印刷線路板的電性測(cè)試
（9）低噪音/低電流測(cè)試
（10）微波量測(cè)(高頻)
（11）太陽(yáng)能電池領(lǐng)域檢測(cè)分析
（12）發(fā)光二極管領(lǐng)域檢測(cè)分析
 (13) 納米器件結(jié)構(gòu)測(cè)試

  
2、探針臺(tái)硬件結(jié)構(gòu)
（1）完整探針臺(tái)系統(tǒng)
  

                                                                              3.各部件使用方法
●探針臺(tái)主要操作說(shuō)明
3.1， 移動(dòng)顯微鏡前后方向 : 松開(kāi)門(mén)型橫梁左下側(cè)松緊固旋鈕，拉動(dòng)旋鈕前后移動(dòng)

3.2微鏡左右方向 : 松開(kāi)門(mén)型橫梁顯微鏡移動(dòng)緊固旋鈕，拉動(dòng)顯微鏡移動(dòng)桿左右移動(dòng)

3.3 
顯微鏡焦距調(diào)整旋鈕(粗調(diào)/細(xì)調(diào))

3.4 顯微鏡光源亮度調(diào)整(微調(diào))

3.4，調(diào)整針座載臺(tái)位置。松開(kāi)針座載臺(tái)緊固螺絲，把載臺(tái)左右移動(dòng)到合適位置后固定

                      
 
3.5 針座(磁性反轉(zhuǎn)底座)結(jié)構(gòu)說(shuō)明

● 防震系統(tǒng)
調(diào)整防震桌四個(gè)腳座高度,使用水平儀測(cè)量是否在水平位置

3調(diào)整防震氣囊壓力為40~60psi

防震氣囊壓力表40~60psi
                      

3.調(diào)整防震氣囊水平調(diào)整螺栓往上調(diào)整,使防震桌防震氣囊高度大于支撐stage軟墊2mm,使用水平儀測(cè)量是否在水平位置

Pic23/圖23

                     3. 將顯微鏡倍率切換到大,觀察影像是否會(huì)震動(dòng)(以腳踏地板產(chǎn)生震動(dòng)測(cè)試防震性能是否良好)
3.若持續(xù)有震動(dòng)情形,請(qǐng)檢查周圍是否有震源產(chǎn)生或者相關(guān)機(jī)構(gòu)有干擾及防震氣囊壓力過(guò)大

3. 所有設(shè)備務(wù)必接地良好,避免漏電及靜電干擾測(cè)試結(jié)果.

● 探針臺(tái)操作步驟：
1.將測(cè)試產(chǎn)品放入探針臺(tái)的臺(tái)盤(pán)上；
2. 打開(kāi)顯微鏡光源燈（LED或光源機(jī)）；
3.打開(kāi)背光面板光源開(kāi)關(guān)；
4.調(diào)整Z axis高度對(duì)焦，使能清楚看到樣品圖象為OK；
5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰；

●點(diǎn)針操作步驟：
1.
通過(guò)移動(dòng)鏡頭組部分找到Sample 要下針的地方；
2. 調(diào)整針座位置，將三軸歸零；
3. 調(diào)整針座仰角機(jī)構(gòu)，使針尖位于顯微鏡射出光斑*上方1-2mm處；
4. 利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野*位置并通過(guò)調(diào)整焦距使針尖達(dá)到清晰；
6.切換至高倍鏡頭，找到針尖；
7.利用針座的X-Y-Z 軸微調(diào)下針；
8.量測(cè)完畢后，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)針座的仰角機(jī)構(gòu)的旋鈕快速將針往上抬起，針尖即可移開(kāi)Sample；移動(dòng)針座平臺(tái)或者顯微鏡相關(guān)移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí),請(qǐng)注意小心避免與鏡頭或被測(cè)品碰撞

9. 移開(kāi)針座，取出Sample.

10.關(guān)閉背光面板光源和光源燈等電源.

PS：●兩種常見(jiàn)顯微鏡結(jié)構(gòu)介紹：
A.體視顯微鏡配置：
Eye piece目鏡:高眼點(diǎn)超廣角目鏡一對(duì).

高清晰度、高景深的立體圖像，變倍手輪雙側(cè)水平設(shè)置，變倍靈活舒適。

 升降機(jī)構(gòu)： 燕尾導(dǎo)軌與齒輪齒條組合構(gòu)成調(diào)焦機(jī)構(gòu).

上光源： 3瓦LED燈，亮度可調(diào)，角度可調(diào).

眼罩：方便觀察的護(hù)眼罩一對(duì)。

CCD Mount攝像組件:

0.65X CCD Mount 攝像連接筒組 C&CS接口

                0.35X CCD Mount 攝像連接筒組 C&CS接口

B.  金相顯微鏡：
采用全新的一體化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單、方便，性能優(yōu)異、可靠，
功能齊全，可廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的顯微鏡頭部：

PSM-1000E雙目觀察頭可以在3 -30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。

管鏡：

PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過(guò)率。

光路切換連桿：

通過(guò)推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光的進(jìn)入光路，提高了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
偏光觀察:

主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進(jìn)行偏光觀察。
                                                                                    調(diào)焦機(jī)構(gòu)：

調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
                       
物鏡轉(zhuǎn)換器：

物鏡（選配件）：

物鏡采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。

                   
攝像系統(tǒng)：

根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。

Lighting system 照明系統(tǒng)：