一、探針臺概念：

探針臺主要是在電學分析領域中的量測分析使用，通過X、Y、Z及仰角調節(jié)的裝置，通常稱之為探針座，對探針夾持并進行相應的直線操作運動，對所測樣品進行點針，再通過電纜線與電學量測設備連接輸出，得出所需要的電壓，電流，電阻率的相關測量數(shù)據(jù)，如：大電流，高頻率，高電壓，高功率及微電流等相關參數(shù)的測量分析；

二、儀準探針臺主要應用：

主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)居多，如：復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，其目的在于保證質量及器件的可造性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

三、儀準探針臺的使用方式：

1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。

4.待測點位置確認好后,再調節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針前進少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，*則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。

5.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。

四、儀準探針臺的類型：

1. 晶圓探針臺(Wafer Probe Station)

2. 射頻探針臺(RF Probe Station)

3. lCD/OLED大尺寸平板探針臺(LCD/OLED Probe Station)

4. 四探針臺（Four Point Probe Station,也稱：表面電阻探針臺）

5. 霍爾效應探針臺（Hall effect measurement system）

6. 變溫探針臺（高溫探針臺、低溫探針臺）

7. 環(huán)境可控型探針臺等型號

儀準科技致力于失效分析設備研發(fā)及測試服務：手動探針臺probe，激光開封機laser decap，IV自動曲線形測儀，微光顯微鏡EMMI,紅外顯微鏡