東京精密+表面粗糙度測(cè)量機(jī)

表面粗糙度測(cè)量機(jī)SURFCOM NEX001

線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部帶動(dòng)的具有優(yōu)秀的可靠的性能的表面粗糙度測(cè)量用的傳感器（傳感器）

1000μm量程的粗糙度測(cè)量用傳感器 比以往的800μm量程的傳感器增加了25%的量程，Z方向量程達(dá) 到了1000μm。

搭載了新開發(fā)的可對(duì)應(yīng)高倍率、寬范圍測(cè)量的，設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔的傳感器。 外徑14 mm，測(cè)量范圍1000 μm，測(cè)量倍率能達(dá)到50 萬倍。

非接觸驅(qū)動(dòng)的有效性

線性馬達(dá)也適合往復(fù)運(yùn)動(dòng)，可準(zhǔn)確定位并進(jìn)行高速測(cè)量。傳統(tǒng)的控制是組合了電機(jī)、 編碼、 線性光柵尺的滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)控制，因此特別是對(duì)于三維的表面性狀評(píng)價(jià)等，由于準(zhǔn)確定位造成往復(fù)運(yùn)動(dòng)的控制響應(yīng)性出現(xiàn)了極限。線性驅(qū)動(dòng)基本上是僅靠線性馬達(dá)和標(biāo)尺的簡(jiǎn)單控制，因此可進(jìn)行高響應(yīng)性高精度的定位。

輔助行走距離

在不想浪費(fèi)測(cè)量距離時(shí)或者只有極短的測(cè)量長(zhǎng)度時(shí)非常有效。傳統(tǒng)的測(cè)量機(jī)考慮到間隙和電機(jī)的啟動(dòng)特性，在進(jìn)行數(shù)據(jù)采樣前必須要有輔助行走的距離。東京精密著眼于線性馬達(dá)的高響應(yīng)性和無背隙，去除了輔助行走距離。

東京精密+表面粗糙度測(cè)量機(jī)

搭載了新開發(fā)的可對(duì)應(yīng)高倍率、寬范圍測(cè)量的，設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔的傳感器。 外徑14 mm，測(cè)量范圍1000 μm，測(cè)量倍率能達(dá)到50 萬倍。