龍門式三維運(yùn)動平臺標(biāo)準(zhǔn)的15英寸龍門架為X軸和Y軸提供380mm行程距離,Z軸行程100mm(4英寸),并可按客戶要求訂制更大或更小行程的龍門運(yùn)動平臺。并可且可提供第四軸支持控制視頻顯微鏡縮放變焦,支持變焦范圍高達(dá)16倍。
龍門式三維運(yùn)動平臺采用精密軸承導(dǎo)向總成提供平穩(wěn)和準(zhǔn)確的運(yùn)動。整個龍門工作臺經(jīng)過精密加工達(dá)到了要求的公差,XY分辨率高達(dá)3arcsec 典型的雙向重復(fù)精度優(yōu)于5微米。在標(biāo)準(zhǔn)配置中,X軸和Y軸的移動速度為每秒100毫米(4英寸),還可提供其它運(yùn)行速度選項(xiàng)。
龍門式三維運(yùn)動平臺Z軸標(biāo)準(zhǔn)分辨率高達(dá)0.1微米,雙向重復(fù)精度高達(dá)1微米,行進(jìn)速度7mm/s,可提供其它速度。
龍門式三維運(yùn)動平臺可提供各種線性編碼器,分辨率高達(dá)10nm,典型重復(fù)精度500nm。
龍門式三維運(yùn)動平臺可配置相機(jī)和視頻顯微鏡,支持共軸照明,環(huán)狀照明等光源安裝,搭建成圖像采集,視頻檢測,3D定位,剖面檢測等成像顯微鏡系統(tǒng)。
龍門式三維運(yùn)動平臺Gantry特點(diǎn)
1.XY軸閉環(huán)直流伺服控制,Z軸用于精準(zhǔn)定位;
2.寬廣的動態(tài)速度范圍,可調(diào)整梯形運(yùn)動輪廓;
3.驅(qū)動器上電子力矩限位保護(hù),用于“內(nèi)置”極限保;
4.霍爾效應(yīng)極限傳感器用于XYZ三軸
4.所有軸上微米級的重復(fù)精度;
5.平滑可調(diào)試雙量程操縱桿控制;
6.背光液晶顯示器顯示XY和Z坐標(biāo)軸;
7.“0”和“Home ”按鈕用于簡單獨(dú)立的操作;
8.緊湊的符合人體工程學(xué)的桌面單元尺寸是9 x 23 x 16½ cm (3½ x 9 x 6½ 英寸);
9.微處理器控制與RS-232串行和USB通信;
10其他功能包括可編程定位模式和掃描。
龍門式三維運(yùn)動平臺Gantry技術(shù)參數(shù)
| XY軸行程范圍 | 380 mm x 380 mm (15” x 15”) |
| XY軸分辨率 | < 3 µm |
| XY軸RMS可重復(fù)精度 | < 5 µm |
| XY軸速度 | 100 mm/sec |
| Z軸行程范圍(典型) | 100 mm (4”) |
| Z軸分辨率(Z軸步長) | 22 nm |
| Z軸RMS可重復(fù)精度(典型) | < 700 nm |
| Z軸速度 | 7 mm/sec |
| 絲桿螺距選擇 | 旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率 | 速度(動態(tài)范圍=400) | ||
| XY | Z | XY | Z | |
| 25.40 mm (極粗) | N/A | 88 nm | N/A | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (超粗) | 1680 nm | 44 nm | 200 mm/sec | 14 mm/sec |
| 6.35 mm (標(biāo)準(zhǔn)) | 840 nm | 22 nm | 100 mm/sec | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (細(xì)) | 210 nm | 5.5 nm | 25 mm/sec | 1.75 mm/sec |
龍門式三維運(yùn)動平臺Gantry規(guī)格說明
1.Z軸的標(biāo)準(zhǔn)分辨率小于0.1微米,典型的雙向重復(fù)性優(yōu)于1微米。在標(biāo)準(zhǔn)配置中,Z軸的移動速度為每秒7毫米(1/4英寸),還有其他的可供選擇。
2.線性編碼器適用于所有軸提供分辨率降到10nm,典型的可重復(fù)性比500nm,規(guī)模精度±3µm規(guī)模的長度。
3.該龍門式三維運(yùn)動平臺Gantry可以定制配置相機(jī)和視頻顯微鏡與自動聚焦和電動變焦。照明選擇范圍也很廣,包括同軸光源,環(huán)形光源和LED燈箱,如圖所示,具有可變強(qiáng)度和均勻的光分布。
4.該龍門式三維運(yùn)動平臺Gantry可以很容易地配置為各種各樣的圖像采集,視頻檢查,3D定位和剖面應(yīng)用。

































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