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這款二維XY定位平臺METROSTAGE是美國Nutec高精度電動XY定位臺,采用了XY雙軸定位臺設(shè)計,可以設(shè)計成實心表面,也可設(shè)計成開放的中空框架結(jié)構(gòu),同時滿足超凈工作間和真空環(huán)境的使用要求

二維XY定位平臺光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

這款二維XY定位平臺METROSTAGE是美國Nutec高精度電動XY定位臺,采用了XY雙軸定位臺設(shè)計,可以設(shè)計成實心表面,也可設(shè)計成開放的中空框架結(jié)構(gòu),同時滿足超凈工作間和真空環(huán)境的使用要求。
這款二維XY定位平臺METROSTAGE采用特殊的3層結(jié)構(gòu)設(shè)計，保證了最小的形變和的精度，剛度和穩(wěn)定性也得到了，從而保證了二維XY定位平臺的支撐和完整性. 無空回（backlash-free)的預(yù)裝引導(dǎo)系統(tǒng)保證了二維XY定位平臺實現(xiàn)平穩(wěn),低摩擦,高精度地定位,*長期使用。

二維XY定位平臺應(yīng)用
具有廣泛的應(yīng)用,可用于計量和制造領(lǐng)域,半導(dǎo)體封裝,測試和制造領(lǐng)域,視頻檢測,微細(xì)加工,激光加工,高速加工,激光和檢測等領(lǐng)域。也有許多用戶把這套XY定位平臺用于顯微鏡上,替代精度不足的傳統(tǒng)顯微鏡載物臺。
二維XY定位平臺主要特色
超薄設(shè)計,3層結(jié)構(gòu)；
直線伺服或滾軸絲桿驅(qū)動系統(tǒng)
集成的非接觸式位置編碼器
分辨率高達(dá)1納米
內(nèi)部預(yù)加載的輥導(dǎo)向系統(tǒng)
可集成伺服控制功能
二維XY定位平臺配置
行程范圍100x100mm到300x300mm
位移臺高度可達(dá)60mm
開放框架或固體頂部
適合超凈間使用
真空兼容，適合真空環(huán)境使用
非磁性

二維XY定位平臺中空版本
二維XY定位平臺參數(shù)：
行程范圍：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驅(qū)動系統(tǒng)；步進(jìn)電機(jī),伺服電機(jī)，直線伺服電機(jī)，陶瓷伺服電機(jī)
加速度：由負(fù)載決定
速度：直線電機(jī)驅(qū)動：500mm/s,滾珠螺桿：250mm/s，滾柱絲杠驅(qū)動:40mm/s
負(fù)載：15kg
TTL分辨率：50nm
重復(fù)精度：≤1µm
構(gòu)造：鋁合金主體，灰色硬質(zhì)涂層

型號	MS-100 ST	MS150-ST	MS200-ST	MS300-ST
行程 (mm)	100x100	150x150	200x200	300x300
控制規(guī)格參數(shù)
精度
標(biāo)準(zhǔn)精度SP	± 7.5µm	± 10µm	± 15µm	± 20µm
高精度版本精度HP	± 5µm	± 7.5µm	± 10µm	n/a
*精度版本精度XHP	± 3µm	± 4µm	± 6µm	n/a
直線度/平整度
標(biāo)準(zhǔn)品直線度/平整度	± 8 µm	± 10 µm	± 12 µm	± 20 µm
高精度版直線度/平整度	± 3µm	± 4 µm	± 6 µm	n/a
*精度版直線度/平整度	± 3µm	± 4 µm	± 5 µm	n/a
Yaw/Pitch/Roll
標(biāo)準(zhǔn)版Yaw/Pitch/Roll	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec
高精度版Yaw/Pitch/Roll	10 arc-sec	10 arc-sec	10 arc-sec	n/a
二維XY定位平臺規(guī)格
標(biāo)準(zhǔn)版正交性	10 arc-sec	10 arc-sec	10 arc-sec	10 arc-sec
高精度版正交性	5 arc-sec	5 arc-sec	5 arc-sec	n/a
*精度版正交性XHP	3 arc-sec	3 arc-sec	3 arc-sec	n/a

關(guān)鍵詞：顯微鏡標(biāo)準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn)品

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