這款平面平行納米壓電掃描臺Nano Piezo Scanning Stage是專業(yè)為納米掃描和納米定位掃描設(shè)計(jì)的平行平面壓電納米掃描器,廣泛用于在開放或閉環(huán)系統(tǒng)中光學(xué)元件納米定位掃描和掃描探針器件的掃描納米定位應(yīng)用。納米壓電掃描臺配備了電容位移傳感器，進(jìn)行數(shù)字閉環(huán)控制。它提供了高精度和線性運(yùn)動(dòng)，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)。其電容測量部分是基于TDC（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器），所有的電子元件安裝在離傳感器最近的位置。該種設(shè)計(jì)降低了噪音，實(shí)現(xiàn)了高速位移控制。

平面平行納米壓電掃描臺特點(diǎn)
雙電容傳感器反饋技術(shù)
低頻噪聲電阻
補(bǔ)償壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)
掃描行程是40µm
超高分辨率為0.1nm
設(shè)計(jì)緊湊，重量輕，剛度高
適用于通用應(yīng)用
顯微鏡應(yīng)用的理想掃描臺
還提供真空納米壓電掃描臺
平面平行納米壓電掃描臺中心活動(dòng)部件掛在柔性彈簧上,由壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，確保了應(yīng)用的高剛度和高穩(wěn)定性。納米壓電掃描臺為運(yùn)動(dòng)提供了的線性和平整度，與經(jīng)典的采用壓電陶瓷管掃描臺相比,可步進(jìn)可提供球形掃描面，還具有更高機(jī)械強(qiáng)度。
納米壓電掃描臺使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec軟件控制納米壓電掃描器。
平面平行納米壓電掃描臺應(yīng)用包括：
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計(jì)量學(xué)應(yīng)用
生物學(xué)研究
微電子學(xué)應(yīng)用
微操作等。
平面平行納米壓電掃描臺規(guī)格
運(yùn)動(dòng)特性
主動(dòng)軸 XYZ
XY運(yùn)動(dòng)范圍 40x40µm
Z軸運(yùn)動(dòng)距離 5µm
諧振頻率Z軸 50KHz
諧振頻率XY軸 5KHz
分辨率（閉環(huán)） 1nm
分辨率（開環(huán)） 0.1nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜 ＜0.01°
掃描速度 50Hz
負(fù)載能力 50g
操作溫度范圍 - 40~80°C
尺寸 70 x 62 x 32.2mm
材料 鋁