這款萬向旋轉(zhuǎn)傾斜臺是采用直驅(qū)電機制造的萬向載物臺和萬向工作臺,具有傾斜和旋轉(zhuǎn)功能提供萬向定位,廣泛用作3D激光打印萬向載物臺和微納制造萬向工作臺架。
萬向旋轉(zhuǎn)傾斜臺采用3相無鐵線性無刷伺服電機BLDC技術(shù),為用戶帶來零反沖高精度萬向傾斜旋轉(zhuǎn)運動,具有*精度高,重復(fù)精度高和摩擦低的特點。
萬向旋轉(zhuǎn)傾斜臺采用線性非接觸式光學編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達亞納米級分辨率。
萬向旋轉(zhuǎn)傾斜臺采用自然老化鋁合金確保了萬向節(jié)臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長周期運動,導(dǎo)軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
萬向旋轉(zhuǎn)傾斜臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空萬向傾斜旋轉(zhuǎn)臺。
萬向旋轉(zhuǎn)傾斜臺可以輕松地直接連接到光學平臺上,也可與直驅(qū)線性平移臺搭建成電動4軸定位平臺系統(tǒng),非常適合微納制造。
萬向旋轉(zhuǎn)傾斜臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現(xiàn)高精度萬向定位。

萬向旋轉(zhuǎn)傾斜臺規(guī)格參數(shù)

傾斜軸向	Tilt (A) Axis	Yaw (B) Axis
運動學和反饋系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
角度范圍	±130度	±360度 (無限)
編碼器類型	光學編碼器
編碼器型號	LEN2
編碼器分辨率 1)	0.023~0.184arcsec
編碼器接口	差分RS422 或模擬SIN/COS
內(nèi)部放大倍數(shù)	YES (optionally analog SIN/COS)
放大系數(shù)	4-200 (on demand)
Encoder Grating Period	20µm
Reference Mark (Index)	Yes
Absolute Accuracy 2)
Before Calibration	±218 / ±45.00 µrad / arcsec
After Calibration	±14.54 / ±3.00 µrad / arcsec
Uni-Directional Repeatability, µrad / arcsec	N/A
Bi-Directional Repeatability (peak to peak) 2)	±7.30 / ±1.50 µrad / arcsec
Bi-Directional Repeatability (RMS) 2)	±2.90 / ±0.60 µrad / arcsec
偏心率Eccentricity 3)	±5.00 µm
擺動Wobble 3)	±19.40 / ±4.00 µrad / arcsec
Maximum Velocity (no load, @300VDC) 4)	<9000 / 1500 deg/s / RPM
Maximum Acceleration (no load) 5)	1080000 / 180 deg/s2 / kRPM/s2
Maximum torque (continuous)5)	5.4Nm
Limits Switches	N/A
Load, Guiding & Transmission Information
Design Type	Torque Motor (Direct-Drive) Two-Axis Rotation (Gimbal) Stage
Motor Model	TM1
Motor Design Type	Torque Motor
Maximum Bus Voltage, VDC	<320
Load Capacity (Centrally Placed) 6)
Horizontal	1kg
Vertical	1kg
Moving Mass 7)	6.6kg	1.55kg
Guiding System	Crossed roller bearings
Material & Environment Conditions
Housing Material	Aluminum Alloy
Housing Coating (Finish)	Black Anodizing
Environment Pressure	Normal Atmosphere
Operating Temperature, °C	20±2
Control, Communication and Cabling
Recommended Controllers 8)	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Drivers 8)	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Power Supply 9)	2 phase / 3 phase source
Recommended Communication Interface 11)	EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
Cable Length, m	2 (other by request)
Differential Outputs 10)	On request
Accessories Information
Base Plate for Mechanical Interface	Not required
Additional Details
Magnetic Brake	Yes	No
Dimensions of Moving Platform	Ø90mm
Central Aperture	N/A	Ø15mm
Overall Linear Stage Dimensions (W x L x H)	149 x 349 x 161mm (entire system)
Measurement System	Metric / Imperial (Base)
RoHS	Compliant
Weight, kg	12.3kg (entire system)

1) 默認為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m₀,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。