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這款高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺是具有150kg超大負(fù)載能力的直接驅(qū)動線性平移臺,采用光學(xué)編碼器和3相無鐵線性無刷伺服電機(jī)技術(shù),為用戶帶來零反沖高精度平移運(yùn)動

高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺-400mm/150kg 光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

這款高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺是具有150kg超大負(fù)載能力的直接驅(qū)動線性平移臺,采用光學(xué)編碼器和3相無鐵線性無刷伺服電機(jī)技術(shù),為用戶帶來零反沖高精度平移運(yùn)動。
高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級分辨率。
高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長周期運(yùn)動,導(dǎo)軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺。
高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺上,可直接安裝搭建成電動XY二維平移臺,無需使用任何連接板。
高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實(shí)現(xiàn)高精度平移定位。

圖1：高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺實(shí)物圖
高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺特點(diǎn)
超大超寬載物臺方便運(yùn)載大型物體
直接驅(qū)動無反沖backlash系統(tǒng)
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
雙向重復(fù)定位精度高達(dá)+/-0.5um
高精度線性導(dǎo)向和運(yùn)載系統(tǒng)
超長使用壽命
方便集成到各種平臺或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
XY二維位移臺的正交性高達(dá)<=5arcsec
適合工業(yè)和科研應(yīng)用，包括激光鉆孔,激光切割,激光打標(biāo)等
具有灰塵防護(hù)能力
高負(fù)載線性直驅(qū)平移臺規(guī)格

行程范圍	400mm
編碼器類型	光學(xué)編碼器
編碼器型號	LEn1
編碼器分辨率
編碼器接口	差分RS422
放大系數(shù)	4-200任選
編碼器光柵周期,	20um
參考標(biāo)記 (Index)	Yes
精度²⁾
標(biāo)定前	±12µm
標(biāo)定后	±1µm
單向重復(fù)精度	N/A
雙項(xiàng)重復(fù)精度（peak-peak)²⁾	±0.5µm
雙項(xiàng)重復(fù)精度(RMS) ²⁾	±0.26µm
Pitch ³⁾	±30 / ±6.20 µrad/arcsec
Yaw ³⁾	±30 / ±6.20 µrad / arcsec
Roll	N/A
速度 (負(fù)載4Kg) ⁴⁾	<2000mm/s
加速度 ((負(fù)載4kg) ⁵⁾	<20000mm/s^2
安全限位開關(guān) (Safety)	Optical (Optrons)
安全限位開關(guān)極性	Pushed is closed
限位開關(guān)電壓	5…24V
負(fù)載導(dǎo)向信息
類型	線性電機(jī)平移臺
電機(jī)類型	LM6
電機(jī)設(shè)計(jì)類型	無鐵BLDC Motors
Bus Voltage	>320V_DC
負(fù)載 (中心放置) ⁶⁾
水平	150kg
垂直	N/A
運(yùn)動質(zhì)量 ⁷⁾	16kg
導(dǎo)向系統(tǒng)	循環(huán)直線軌道和載物滑塊單元
材料和外殼信息
外部材料	鋁合金
外殼處理	黑色陽極氧化
環(huán)境壓力	標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
工作溫度	20±2°C
控制器
推薦控制器 ⁸⁾	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
推薦驅(qū)動器 ⁸⁾	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
推薦電源 ⁹⁾	Request Standa support
推薦通訊接口 ¹²⁾	EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
線纜長度	2m
差分輸出 ¹⁰⁾	On request
配件
底板	不需要
XY二維平移臺系統(tǒng)搭建	直接搭建,不需要安裝適配板
Z軸豎直平移臺搭建	不可以
外形尺寸
移動臺尺寸 (W x L)	310 x 310mm
外形尺寸 (W x L x H)	390 x 805 x 120mm
公制或英制	公制 / 英制均可提供
XY二維平移臺正交性 ¹¹⁾	24/5 µrad/arcsec
防護(hù)處理 ¹³⁾	固體顆?；覊m防護(hù)
RoHS	滿足
重量	45kg

1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m₀,通常是沒有負(fù)載時(shí)的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動位移臺系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境。

關(guān)鍵詞：限位開關(guān) 標(biāo)準(zhǔn) 通訊接口

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