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FPSMAR-pod70.42 六軸并聯(lián)定位平臺 光學表面分析儀

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號FPSMAR-pod70.42
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-11-25
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1482
  • 人氣值20895
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六軸并聯(lián)定位平臺 光學表面分析儀 產(chǎn)品詳情

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六軸并聯(lián)定位平臺70.42采用模塊化設計,其尺寸和強度可以適應不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。


六軸并聯(lián)定位平臺70.42規(guī)格參數(shù)
分辨率<1nm
負載:500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造(根據(jù)用戶要求)
垂直載荷Fv:5N
水平力Fh:2.5N
定位器尺寸:Ø 70 x 42 mm^3
重量:約300克
行程范圍:
x- 10 mm
y -10 mm
z -5 mm
Θx:14 °
Θy:16 °
Θz:28 °

帶納米傳感器-S閉環(huán)
最小增量(x,y,z):1nm
最小增量(Θx,Θy,Θz):1urad
重復精度(xyz全行程):±200 nm
重復精度(Θxyz全行程):±10urad
重復精度(1mm行程@xyz):±15 nm
材料和真空可選項目
納米級距離編碼傳感器
非磁性材料(NM)
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
更多六軸并聯(lián)定位平臺應用案例
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