FPMAR-SR-7012 大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺光學(xué)表面分析儀

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型號FPMAR-SR-7012
品牌
所在地
更新時間2022-11-26

孚光精儀（中國）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1482
人氣值20895

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產(chǎn)品簡介在線詢價

大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)位移臺,采用壓電電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360度無限旋轉(zhuǎn)

大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)位移臺,采用壓電電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360度無限旋轉(zhuǎn)。
大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺SR-7012集成光學(xué)編碼器確保閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺都可以根據(jù)用戶需求定制.

大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺規(guī)格參數(shù)

型號	SR-7012	SR-7021	SR-12012
口徑	Ø 30 mm	Ø 25 mm	Ø 82 mm
S閉環(huán)傳感器分辨率	15μ°	15 μ°	5 μ°
角度分辨率	< 0.5 μ°	< 0.5 μ°	< 1 μ°
掃描范圍	>2.5 m°	> 3.1 m°	> 4 m°
行程范圍	∞	∞	∞
定位臺尺寸	70 x 70 x 12 mm³	90 x 90 x 21 mm³	120 x 120 x 12 mm³
負(fù)載	25N(2.5Kg)	25N(2.5Kg)	20N(2Kg)
適合真空度	10^-11 mbar	10^-11mbar	10^-6mbar
角速度	9度/秒	9度/秒	10度/秒
步進(jìn)	0.2 – 2.0 m°	0.2 – 2.0 m°	0.3 – 1.5 m°
頻率	18.5KHZ	18.5KHZ	18.5KHZ
阻尼力Mb	10N cm	10N cm	15N cm
正向力Fn	25N	25N	20N
旋轉(zhuǎn)臺尺寸	Ø 60 mm	Ø 70 mm	Ø 110 mm
重量	100g	400g	320g

大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺應(yīng)用案例

大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

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