FPSMA-SR-1908 壓電旋轉定位臺光學表面分析儀

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型號FPSMA-SR-1908
品牌
所在地
更新時間2022-11-26

孚光精儀（中國）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量1482
人氣值20567

產(chǎn)品標簽

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壓電旋轉定位臺SR-4011是采用壓電旋轉臺技術的壓電旋轉定位器,采用壓電電機驅動可實現(xiàn)360度無限旋轉

壓電旋轉定位臺光學表面分析儀產(chǎn)品詳情

壓電旋轉定位臺SR-4011是采用壓電旋轉臺技術的壓電旋轉定位器,采用壓電電機驅動可實現(xiàn)360度無限旋轉。
壓電旋轉定位臺SR-4011集成光學編碼器確保閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和重復精度（高達5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標準壓電旋轉定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉定位臺都可以根據(jù)用戶需求定制.

壓電旋轉定位臺規(guī)格參數(shù)

型號	SR-4011	SR-4513
口徑	9mm	8mm
S閉環(huán)傳感器分辨率	15μ°	15 μ°
角度分辨率	< 1 μ°	<1 μ°
掃描范圍	> 4 m°	> 4 m°
行程范圍	∞	∞
定位臺尺寸	40x 40x 11 mm³	45 x 45 x 12.5 mm3
負載	10N(1Kg)	20N(2Kg)
適合真空度	10^-6 mbar	10^-11 mbar
角速度	15度/秒	15度/秒
步進	0.3 – 2.0 m°	0.3 – 3.0 m°
頻率	18.5KHZ	18.5KHZ
阻尼力Mb	5N cm	5N cm
正向力Fn	10N	20N
旋轉臺尺寸	Ø31mm	Ø 36 mm
重量	60g	89g
S閉環(huán)分辨率	15 μ° MSC/SDC	15 μ° MSC/SDC
L閉環(huán)傳感器分辨率	60 μ°	60 μ°
L閉環(huán)分辨率	60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU	60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU
M閉環(huán)傳感器分辨率	500 μ°	500 μ°
M閉環(huán)分辨率	500 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU	500 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU

壓電旋轉定位臺SR-4011材料和真空選項

鋼底座（-ST）

硬端止動塊，樣品短管支架

-真空（10-6m Bar）
壓電旋轉定位臺應用案例

壓電旋轉定位臺搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）

關鍵詞：標準

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