壓電角位臺SGO-60.5采用高精度交叉滾子軸承,具有*的角度精度和運動分辨率,結(jié)構(gòu)緊湊,堅固耐用,非常適合微定位或納米定位應(yīng)用。
壓電角位臺SGO-60.5具有良好的拓展和堆疊能力,可以與其它納米壓電位移臺搭建成復(fù)雜壓電定位系統(tǒng),與其它半徑相同的角位臺聯(lián)合可以搭建具有共同旋轉(zhuǎn)中心的歐拉角位臺系統(tǒng)。
壓電角位臺SGO-60.5配備精確控制器,可以與集成定位傳感器一起使用,用于高真空和超高真空環(huán)境。
壓電角位臺SGO-60.5規(guī)格參數(shù)
傳感器分辨率:0.03 µrad
-L閉環(huán)
傳感器分辨率:0.12 µrad
閉環(huán)分辨率:1.5urad(H)CU, 0.12urad MCS
我們采用壓電角位臺SGO-60.5搭建了5D微操縱器,采用SLC-17納米線性定位器搭建XYZ三位納米定位臺系統(tǒng),再用2套壓電角位臺SGO-60.5用于納米旋轉(zhuǎn)定位,Z軸方向的線性定位器加載了恒力彈簧以勝任持久性大負(fù)載。這套5D微操縱器可用于高真空和超高真空環(huán)境,廣泛用于微納操作,納米操縱,SEM定位等應(yīng)用。

































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