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FPSMA-SGO-60.5 壓電角位臺 光學(xué)表面分析儀

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  • 型號FPSMA-SGO-60.5
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-11-27
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1482
  • 人氣值20895
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壓電角位臺 光學(xué)表面分析儀 產(chǎn)品詳情
壓電角位臺SGO-60.5采用壓電驅(qū)動技術(shù)實現(xiàn)納米壓電角定位,旋轉(zhuǎn)中心為60.5 mm,負(fù)載為5N(500g),尺寸為50x50x17mm^3,勝任任何需要高穩(wěn)定性和高角度精度的應(yīng)用。
壓電角位臺SGO-60.5采用高精度交叉滾子軸承,具有*的角度精度和運動分辨率,結(jié)構(gòu)緊湊,堅固耐用,非常適合微定位或納米定位應(yīng)用。
壓電角位臺SGO-60.5具有良好的拓展和堆疊能力,可以與其它納米壓電位移臺搭建成復(fù)雜壓電定位系統(tǒng),與其它半徑相同的角位臺聯(lián)合可以搭建具有共同旋轉(zhuǎn)中心的歐拉角位臺系統(tǒng)。
壓電角位臺SGO-60.5配備精確控制器,可以與集成定位傳感器一起使用,用于高真空和超高真空環(huán)境。

壓電角位臺SGO-60.5規(guī)格參數(shù)
行程:±5°
步進(jìn):0.7–7μrad
掃描范圍:10.5μrad
掃描分辨率:0.01μrad
速度:4°/s
頻率:18.5 kHz
阻尼力Mb:20 N cm
垂直載荷Fn:5N
橫向扭矩Mr:1.2 N m
尺寸:50 x 50 x 17 mm^3
旋轉(zhuǎn)中心:60.5 mm
重量:≈140g
-S閉環(huán):
傳感器分辨率:0.03 µrad
-L閉環(huán)
傳感器分辨率:
0.12 µrad
閉環(huán)分辨率:1.5urad(H)CU, 0.12urad MCS
壓電角位臺SGO-60.5可選項目
鋼底座(-ST)
延長壽命(-Z)
-高真空(10^-6mBar),超高真空UHV/-UHVT(10^-11mBar
壓電角位臺SGO-60.5應(yīng)用案例
我們采用壓電角位臺SGO-60.5搭建了5D微操縱器,采用SLC-17納米線性定位器搭建XYZ三位納米定位臺系統(tǒng),再用2套壓電角位臺SGO-60.5用于納米旋轉(zhuǎn)定位,Z軸方向的線性定位器加載了恒力彈簧以勝任持久性大負(fù)載。這套5D微操縱器可用于高真空和超高真空環(huán)境,廣泛用于微納操作,納米操縱,SEM定位等應(yīng)用。
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