RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器,可檢測從純水到*各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿,有機(jī)溶劑和*。另外,也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。
測量范圍 2通道 ≥0.05µm, ≥0.1µm(四個通道需要工廠設(shè)定)
最多粒子數(shù)量 100000顆/ml(誤差值低于5%)
光源鐳射二極管(波長:830nm,額定輸出:200mW)
部分材料 人造石英、碳氟橡膠、PFA
流量 測試流量10ml/分鐘
測量范圍 2通道 ≥0.05µm, ≥0.1µm(四個通道需要工廠設(shè)定)
最多粒子數(shù)量 100000顆/ml(誤差值低于5%)
電源 100V~240V AC,(包含電源供應(yīng)器KZ-50)
尺寸.重量 160(H)×300(W)×250 (D) mm,大約:6kg




































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