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光學(xué)3D表面輪廓儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-12
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量206
  • 人氣值3995
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 卡爾·蔡司股份公司(Carl Zeiss AG)是一家制造光學(xué)系統(tǒng)、工業(yè)測量儀器和醫(yī)療設(shè)備的德國企業(yè)。公司的名稱來源于它的創(chuàng)建人之一---德國光學(xué)家卡爾·蔡司(1816年-1888年)。它由卡爾·蔡司(Carl Zeiss)、恩斯特·卡爾·阿貝(Ernst Karl Abbe)和奧托·肖特(Otto Schott)于1846年在耶拿(Jena)建立。

      蔡司集團在四個國家設(shè)立生產(chǎn)基地和 有100 多個銷售和服務(wù)點,一共有 2,4000 名員工。共有超過 50 個銷售和服務(wù)中心、超過 30 個生產(chǎn)基地以及約 25 個研發(fā)中心。其中中國上海所生產(chǎn)的產(chǎn)品主要供應(yīng)東南亞市場。主要在汽車模具及零件配件,多種模具五金塑膠件和框架等領(lǐng)域提供尺寸測量,對比,逆向工程,激光掃描等解決方案。
     
      蔡司于1957年進入中國,目前蔡司集團在大中華區(qū)覆蓋半導(dǎo)體制造技術(shù)、工業(yè)質(zhì)量解決方案、研究顯微鏡解決方案、醫(yī)療技術(shù)、視力保健和消費者光學(xué)業(yè)務(wù)領(lǐng)域。大中 華區(qū)是蔡司集團快速增長的市場之一,我們在大中華區(qū)共有近4000位員工,分布于各地的6個生產(chǎn)基地和4個銷售與服務(wù)
中心為本地客戶提供強有力的支持,也為世界各相關(guān)業(yè)務(wù)提供生產(chǎn)保障。

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光學(xué)3D表面輪廓儀
光學(xué)3D表面輪廓儀 產(chǎn)品詳情

一、 產(chǎn)品描述

  SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

 

  SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

二、    產(chǎn)品功能

1)    一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能。

2)     測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調(diào)亮度等自動化功能。

3)     測量中提供拼接測量功能。

4)     分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

5)     分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

6)     分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

三、    應(yīng)用領(lǐng)域

  對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例:

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差

超精密加工.光學(xué)透鏡

精密加工.發(fā)動機葉片

精密加工.金字塔型金剛石磁頭

標準樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度

 

四、性能特色

1、  高精度、高重復(fù)性

1)   采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;

2)   *的隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得*的測量重復(fù)性;

2、  一體化操作的測量分析軟件

1)  測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實現(xiàn)了快速批量測量的功能;

2)  可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;

3)  結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;

4)  幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

5)  一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;

6)  可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)。

3、  精密操縱手柄

  集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、  雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

  既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

 

附錄1.依據(jù) ISO/ASME/EUR/GBT等國內(nèi)外標準計算的2D,3D參數(shù)表:

2D參數(shù)表

標準名

參數(shù)

ISO 4287-1997

 

主剖面

粗糙度

波紋度

振幅參數(shù)

Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku

Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku

Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku

間距參數(shù)

PSm,Pdq

RSm,Rdq

WSm,Wdq

物料比參數(shù)

Pmr,Pdc

Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)

Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)

峰值參數(shù)

PPc

RPc

WPc

ISO 13565

ISO 13565-2

Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk

ISO 12085

粗糙度圖形參數(shù)

R,AR,R× ,Nr

波紋度圖形參數(shù)

W,AW,W×,Wte

其他圖形參數(shù)

Rke,Rpke,Rvke

AMSE B46.1

2D參數(shù)

Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt

DIN EN ISO 4287-2010

原始輪廓參數(shù)

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數(shù)

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,

波紋度參數(shù)

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

JIS B0601-2013

原始輪廓參數(shù)

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數(shù)

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波紋度參數(shù)

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

GBT 3505-2009

原始輪廓參數(shù)

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數(shù)

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波紋度參數(shù)

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

 

3D參數(shù)表

標準名

參數(shù)

ISO 25178

高度參數(shù)

Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa

函數(shù)參數(shù)

Smr,Smc,S×p

空間參數(shù)

Sal,Str,Std

復(fù)合參數(shù)

Sdq,Sdr

體積參數(shù)

Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv

形態(tài)參數(shù)

Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv

功能參數(shù)

Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq

ISO 12781

平面度參數(shù)

FLTt,FLTp,FLTv,FLTq

EUR 15178N

振幅參數(shù)

Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St

空間參數(shù)

Str,Std,Sal

復(fù)合參數(shù)

Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd

面積體積參數(shù)

Smr,Sdc

函數(shù)參數(shù)

Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq

功能性指標參數(shù)

Sbi,Sci,Svi

EUR 16145 EN

振幅參數(shù)

Sa,Sq,Sy,Sz,Ssk,Sku

混合參數(shù)

Ssc,Sdq,Sdr

功能性指標

Sbi,Sci,Svi,Sk,Spk,Svk

空間參數(shù)

Sds,Std,Stdi,Srw,Srwi

硬度參數(shù)

Hs,Hvol,Hv,Hps,Hpvol,Hpv,Hap,Hbp

ASME B46.1

3D參數(shù)

St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt

 

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