Keysight B1500A（安捷倫）的特性和優(yōu)勢(shì)包括：

Z越的 IV 測(cè)量性能：0.1 fA / 0.5 V 測(cè)量分辨率

測(cè)量功能包括單通道和多通道掃描、時(shí)間采樣、列表掃描、準(zhǔn)靜態(tài) CV（使用 SMU）、HV-SPGU 的直接控制和任意線性波形生成 (ALWG) GUI。

可選的集成電容模塊支持高達(dá) 5 MHz 的 CV 測(cè)量

可選的基于定位器的 CV-IV 開(kāi)關(guān)解決方案具有 0.5 V 電壓測(cè)量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 電流測(cè)量分辨率能力

通過(guò)內(nèi)置半自動(dòng)晶圓探針驅(qū)動(dòng)器和測(cè)試序列輕松實(shí)現(xiàn)測(cè)試自動(dòng)化，無(wú)需通過(guò)快速測(cè)試模式進(jìn)行編程

可選的高壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元 (HV-SPGU) 具有 10 ns 可編程脈沖寬度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）輸出。

可選的波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元 (WGFMU) 具有 ALWG 和快速電流或電壓測(cè)量功能。

10 ns 脈沖 IV 解決方案可用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI（絕緣體上硅）晶體管。

經(jīng)典測(cè)試模式可用于提供 4155/4156 界面的外觀、感覺(jué)和術(shù)語(yǔ)，同時(shí)通過(guò)充分利用 Microsoft Windows GUI 功能增強(qiáng)用戶交互

Keysight B1500A (Agilent) 半導(dǎo)體器件分析儀的主要規(guī)格包括：

一般特征

帶有 Windows XP Professional 操作系統(tǒng)的基于 PC 的儀器

用于電流電壓 (IV)、電容電壓 (CV)、脈沖生成、快速 IV 和時(shí)域測(cè)量的單盒解決方案。

十個(gè)用于源監(jiān)視器單元 (SMU) 和其他模塊類型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的模塊插槽 *

通過(guò) Desktop EasyEXPERT 軟件進(jìn)行離線數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用測(cè)試開(kāi)發(fā)

測(cè)量能力

支持 0.1fA 和 0.5V 的電流-電壓 (IV) 測(cè)量

支持準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容電壓 (CV) 測(cè)量]

支持脈沖 IV、NBTI 和 RTS 測(cè)量等廣泛應(yīng)用的準(zhǔn)確快速 IV 和時(shí)域測(cè)量。

支持用于高功率和存儲(chǔ)設(shè)備測(cè)試的高壓脈沖生成（高達(dá) ±40 V）。