FPTOH-FLX 薄膜應力測量儀

參考價: 面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

型號FPTOH-FLX
品牌
所在地
更新時間2023-09-12

孚光精儀（中國）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量1482
人氣值20895

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薄膜應力測量儀TohoFLX提供熱循環(huán)和環(huán)境自動旋轉(zhuǎn)型號,可對各種薄膜和襯底進行準確的應力測量,確定和分析沉積薄膜引起的表面應力

薄膜應力測量儀產(chǎn)品詳情

薄膜應力測量儀Toho FLX提供熱循環(huán)和環(huán)境自動旋轉(zhuǎn)型號,可對各種薄膜和襯底進行準確的應力測量,確定和分析沉積薄膜引起的表面應力。
薄膜應力測量儀可以在-65°C至500°C的溫度范圍內(nèi)，以每分鐘25°C的加熱速率進行現(xiàn)場應力測量（可選擇將冷卻裝置冷卻至-65°C）。了解應力隨溫度的變化對于表征材料特性（如應力松弛、水分演變和相變）至關重要。
對于應力膜，可能會出現(xiàn)諸如位錯、空隙和裂紋之類的缺陷。薄膜應力測量系統(tǒng)有助于排除下列應用的故障：
鋁應力引起的空隙
鈍化開裂（氮化物、氧化物）
硅中的應力誘導位錯
電氣試驗產(chǎn)量下降
硅化鎢裂解
溫度循環(huán)過程中氧化物的應力增加
恒流應力測試（CCST）退化
GaAs上的匹配金屬化擴展
高薄膜應力導致硅破裂
薄膜應力測量儀規(guī)格參數(shù)（熱循環(huán)型-2320-S）
***大掃描直徑：200mm
測量范圍：1-4000Mpa
重復精度：1.3MPa
精度：2.5%或1Mpa
***小半徑：2m
***大半徑：33km
工作溫度：室溫-500℃
晶圓mapping: 手動
3D mapping: 可選

關鍵詞：測量儀

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