小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂特點: |
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂SSCR3090S系列 |
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運,通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸, 有利于實現(xiàn)設(shè)備的小型化 |
機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:90mm |
同SSCR2090S-PM兼容,連桿式手臂,可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式 |
全軸使用2相步進電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓 |
晶圓固定方式:真空吸附式,下托式 |
手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指 |
小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂基本參數(shù): |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 單臂 |
到達(dá)距離 | 175mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 150mm |
可搬運質(zhì)量 | 0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們




































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