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DGP8761 研磨拋光機(jī)

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)DGP8761
  • 品牌
  • 所在地蘇州市
  • 更新時(shí)間2024-01-02
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)蘇州市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量56
  • 人氣值1781
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蘇州探博電子有限公司位于中國園林之城,人間天堂的蘇州,于2010年在蘇州市注冊成立,注冊資金為人民幣2000萬元整。公司目前主要業(yè)務(wù)涵蓋新品代理、二手設(shè)備的銷售、租賃、維修和計(jì)量校準(zhǔn)等相關(guān)服務(wù);主營產(chǎn)品包括半導(dǎo)體設(shè)備、工業(yè)機(jī)器人、自動(dòng)化設(shè)備、電子儀器儀表、SMT設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)檢測設(shè)備、定制線束、治具等。 在公司發(fā)展過程中,制定并*了嚴(yán)格的品質(zhì)管理體系,技術(shù)服務(wù)體系和售后管理體系,我們始終以融合 創(chuàng)新 和諧 共贏為發(fā)展宗旨,秉承人至上,客的服務(wù)理念,為客戶提供質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。 公司目前與電子設(shè)備廠商保持著密切的合作,可提供豐富的產(chǎn)品資源和多樣化的業(yè)務(wù)模式??蛻舯榧按箨憽⑷枕n,歐美、東南亞等地區(qū).
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追求高效率的Φ300mm研削拋光機(jī)Φ300mm3axes,4chucktablesDBGSDBGWaferThinningStressReleaf提高加工穩(wěn)定性,實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率DGP8761是銷售業(yè)績突出的DGP8760的改良機(jī)型
研磨拋光機(jī) 產(chǎn)品詳情

追求高效率的Φ300 mm研削拋光機(jī)

  • Φ300 mm

  • 3 axes, 4 chuck tables

  • DBG

  • SDBG

  • Wafer Thinning

  • Stress Releaf

提高加工穩(wěn)定性,實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率

DGP8761是銷售業(yè)績突出的DGP8760的改良機(jī)型。通過背面研削到去除應(yīng)力的一體化,可以穩(wěn)定地實(shí)施厚度在25 μm以下的薄型化加工。搭載了新開發(fā)的主軸,適用于高速研削加工,有助于縮短薄型晶圓的加工時(shí)間(于DGP8760相比較)。另外,優(yōu)化了搬運(yùn)部機(jī)構(gòu)的布局,縮短了加工以外的作業(yè)時(shí)間。

第三主軸的多樣化應(yīng)用

作為薄晶圓加工的第3主軸可以有以下選擇。

應(yīng)力釋放(Stress Relief)

  • 有利于環(huán)保,不使用藥液/水的「干式拋光加工」

  • CMP(特殊選項(xiàng))

超精密研削加工(特殊選項(xiàng))

  • Poligrind

  • UltraPoligrind


利用第三主軸實(shí)現(xiàn)外質(zhì)吸雜※的應(yīng)用

※外質(zhì)吸雜:是在Si晶圓內(nèi)由研削而形成微細(xì)的變質(zhì)層(吸雜區(qū)域), 在該吸雜區(qū)域內(nèi)可以捕獲/固定重金屬等雜質(zhì)的技術(shù)

Gettering DP

采用干式拋光,兼顧高抗彎強(qiáng)度和維持外質(zhì)吸雜效果的迪思科的解決方案。

研磨輪「UltraPoligrind」

采用微細(xì)磨粒「UltraPoligrind」,無需使用化學(xué)藥物即可進(jìn)行薄型晶圓加工。既可維持由于研削產(chǎn)生的外質(zhì)吸雜效果,又可夠獲得以往研磨輪所無法得到的高抗彎強(qiáng)度。

系統(tǒng)擴(kuò)展功能

與多功能晶圓貼膜機(jī)「DFM2800」聯(lián)機(jī)使用,可一次性完成薄型晶圓DAF薄膜(Die Attach Film)貼膜作業(yè)。并且可對應(yīng)DBG(Dicing Before Grinding)工藝(特殊選項(xiàng))。

維持與現(xiàn)有8000系列機(jī)型間的兼容性及零部件互換性

DGP8761的研磨輪、磨輪修整板等與現(xiàn)有8000系列機(jī)型具有互換性。另外,該機(jī)型的操作方法及GUI(Graphical User Interface)的畫面構(gòu)成方面也與現(xiàn)有機(jī)型具有大量共通性。

加工物流程系統(tǒng)

  1. 用機(jī)械手臂將晶圓從晶圓盒中取出,放到中心定位臺(tái)上進(jìn)行中心定位、

  2. 用T1取物手臂將晶圓搬運(yùn)到工作臺(tái)上→

  3. 進(jìn)行粗研磨加工→

  4. 進(jìn)行細(xì)研磨加工→

  5. 進(jìn)行干式拋光加工(去除殘余應(yīng)力)→

  6. 用T2取物手臂將晶圓從工作臺(tái)移到離心清洗臺(tái)上→

  7. 進(jìn)行清洗→干燥→

  8. 移到貼膜機(jī)上(DFM2800)。 或者由機(jī)械手臂將工作物送回到晶圓盒。


Specifications

SpecificationUnit
Wafer DiametermmΦ300(Φ200 / Φ300)
Grinding Method (Z1/Z2 axis)-In-feed grinding with wafer rotation
Grinding Method (Z3 axis)-Anomalous in-feed grinding with wafer rotation
Grinding Wheels-Φ300 mm Diamond wheel (grinding-axis)
Φ450 mm Dry polishing pad (DP-axis)
Φ450 mm CMP pad (CMP-axis)
Machine dimensions (W×D×H)mm1,690 × 3,315 × 1,800 (open cassette)
1,690 × 3,452 × 1,800 (FOUP)
Machine weightkgApprox. 6,700(DP, Poligrind)
Approx. 6,900 (CMP)

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