產(chǎn)品中心

ZYGO zegage/9000
ZYGO公司研發(fā)的3D 光學(xué)表面輪廓儀是基于干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)用于位移、表面形態(tài)和光波的測(cè)量,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、通訊、航天、自動(dòng)化及科研領(lǐng)域。可以提供*的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測(cè)量分析。所有的測(cè)量都無損、快速,并且不需要樣品制備。*的分析軟件可以極其的描繪和定量分析表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。對(duì)于各種表面結(jié)構(gòu),放大倍率及零件高度,可以實(shí)現(xiàn)小于1 納米到20000 微米范圍的快速測(cè)量。使用ZYGO的相干掃描干涉技術(shù)的3D光學(xué)輪廓儀可以很容易的測(cè)量各種材質(zhì)表面,包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺(tái)階面等。在通用性和應(yīng)用價(jià)值方面使其成為3D光學(xué)輪廓儀的理想選擇。
功能及特點(diǎn)
技術(shù)特點(diǎn):
高靈敏度傳感器、快速非接觸測(cè)量、的3D表面可視化、亞埃級(jí)精度、超精密計(jì)算能力、增強(qiáng)光學(xué)成像、自動(dòng)零件定位。
技術(shù)參數(shù):
(1) 縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)
(2) 表面形貌重復(fù)性:<3.5nm(根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部,附件 D)
(3) 光學(xué)分辨率 :0.52um ~9.50um,(與所選物鏡有關(guān))
(4) 掃描速度:≤ 23 um/秒
(5) 數(shù)據(jù)點(diǎn) :1,048,576
(6) 臺(tái)階測(cè)量:準(zhǔn)確度 ≤ 3% 重復(fù)性≤ 0.3% @ 1σ
(7) 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
(8) 反射率 :1-99%

































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