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X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-08-09
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值3666
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測設(shè)備、封裝設(shè)備、測試設(shè)備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
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高分辨率X射線衍射儀,主要用途為測量 Si, Ge, SiC, GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, InP, AlN, GaSb 等化合半導(dǎo)體材料的單晶和外延層材料的結(jié)晶完整性,外延層及相應(yīng)半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的組分、厚度、弛豫度等參數(shù)的測定,外延結(jié)構(gòu)的晶格失配及應(yīng)變狀態(tài)分析,X-Y map均勻性分析,雙軸晶和三軸晶X射線衍射,對稱和非對稱掃描,Out-of-plane 和 In-plan......
X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀 產(chǎn)品詳情

設(shè)備功能

倒易空間掃描(RSM) – 一分鐘完成自動掃描及自動分析

高分辨衍射(HRXRD) – W/2T,2T/W,2T……掃描

搖擺曲線(Rocking Curve) – W 掃描

反射率(XRR) – 材料密度,厚度,粗糙度(Option)

晶格參數(shù)(Lattice parameter),晶向(Orientation)及晶面鑒定(Reflection plane)

切角(Off-Cut)及平辺方向(Flat)鑒定

晶體缺陷鑒定(Defect)

曲率半徑鑒定(Curvature)

應(yīng)力(Strain)及弛裕度(relaxation)鑒定

晶格失配率鑒定(Mismatch)

成份分析,厚度分析

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