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scia Finish 1500

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2025-02-13
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)北京市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量56
  • 人氣值3821
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Scia Finish 1500離子束拋光機用于高精度光學(xué)元件的表面拋光。該IBF系統(tǒng)采用高去除率、高穩(wěn)定離子束源,配備高效真空系統(tǒng),可用于24/7運行的批量生產(chǎn)。
scia Finish 1500 產(chǎn)品詳情
常規(guī)屬性

- 采用聚焦離子束轟擊樣品表面,通過控制離子束焦斑在局部區(qū)域的駐留時間,來實現(xiàn)表面材料的定量去除,從而實現(xiàn)拋光或表面修整

- 適合于大口徑光學(xué)元件長期穩(wěn)定拋光

- 專用高效離子源保證大面積的高精度拋光

- 加工效率高

- 真空倉滑動門設(shè)計,可輕松裝載大型基板

- 針對批量生產(chǎn)的設(shè)計,真空恢復(fù)用時短

系統(tǒng)性能

scia Finish 1500

 樣品尺寸

ф1500 mm,400 kg

 樣品臺


 軸向直線運動特性

線速度0.15m/s, 線加速度15m/S2 

 離子源

★ 37mm 圓形射頻源RF37-i,束腰7--15mm (FWHM)

★ 120mm 圓形射頻源RF120-m,束腰16-- 36mm (FWHM)可選第二個離子源            

 中和器

射頻等離子橋中和器N-RF

 參考去除率

SiO2: 14 mm3/h (RF37-i)96  mm3/h (RF120-m)

 加工后表面精度

< 0.5nm rms (薄膜修整厚度不均勻性,與初始狀態(tài)有關(guān))

 基礎(chǔ)真空度

1x10-6 mbar

 系統(tǒng)尺寸(W x D x H)           

3.6m x 7.7 m x 3.4 m (不含電柜和真空泵)

 軟件界面

SECS II / GEM, OPC


關(guān)鍵詞:真空泵
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