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公司介紹主營產(chǎn)品

北京歐唐科技發(fā)展有限公司（歐唐科技），成立于2007年，致力于光學精密制造與檢測領域，歐唐科技有著幾十年的光學領域研發(fā)經(jīng)驗，與業(yè)內(nèi)經(jīng)驗豐富的專家保持良好的合作關系，可以為相關領域提供技術咨詢服務我們不僅代理儀器設備與軟件，同時也應客戶的需求，研發(fā)定制的儀器與裝置。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

scia Trim 200用于晶圓或光學元件的高精度表面離子束修整或拋光，而不受薄膜和材料的限制。該系統(tǒng)專為批量生產(chǎn)而設計，具有滿足產(chǎn)能和維護的優(yōu)化布局，可以配有能容納標準晶圓尺寸的半導體載具機器手。此外，組合布局可選2個工作倉和2個載具loadlock以提高產(chǎn)能。

scia Trim 200 產(chǎn)品詳情

常規(guī)屬性

- 采用聚焦離子束轟擊樣品表面，通過控制離子束焦斑在局部區(qū)域的駐留時間，來實現(xiàn)表面材料的定量去除，從而實現(xiàn)拋光或表面修整。

- 顯著提升產(chǎn)能

- 薄膜的厚度均勻性可以修正到原子水平，至0.1nm

- 消除了邊緣效應

- 具有ZBE功能，可進行亞納米級去除

- 對樣品材料沒有限制

- 產(chǎn)能與維護在設計時就進行了優(yōu)化，以降低生產(chǎn)成本

- 可以加工帶有光刻膠的晶圓，具有良好的樣品冷卻配置

* ZBE：zero base etching

系統(tǒng)性能

scia Trim 200
樣品尺寸	ф200mm
樣品臺	氦冷卻背板對于晶圓為標準靜電夾具而無邊緣遮攔
軸向直線運動特性	線速度0.5m/s, 線加速度15m/S2
離子源	★ 37mm 圓形射頻源RF37-i，束腰7--15mm （FWHM） ★ 80mm 圓形射頻源RF80-i，束腰12-- 20mm （FWHM）
中和器	熱燈絲中和器N-Fil 或射頻等離子橋中和器N-RF
參考去除率	SiO2： 6 x 10-3mm3/s （RF37-i) 11 x 10-3 mm3/s （RF80-i)
加工后表面精度	< 0.5nm rms （薄膜修整厚度不均勻性，與初始狀態(tài)有關）
參考產(chǎn)能	15 Wafer/h (50 nm Si on 150 mm wafer)
基礎真空度	1x10-6 mbar
軟件界面	SECS II / GEM, OPC
標準配置	1個工作倉

配置選項

- 選配單樣品loadlock或晶圓載具

- 可選組合布局為2個工作倉和晶圓載具

關鍵詞：標準

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
雨量氣象監(jiān)測系統(tǒng)	面議	濰坊市	山東雷穹電子科技有限公司	2026-09-23	在線詢價
高壓電纜接地環(huán)流在線監(jiān)測系統(tǒng)	面議	常州市	常州鼎諾智能電氣有限公司	2026-09-23	在線詢價
螺紋工件一鍵批量閃測儀	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2026-09-23	在線詢價
微壓控制器 D500/11D	￥1450	溫州市	上海雙旭電子有限公司	2026-09-23	在線詢價
全自動SDI+MFI分析儀	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-22	在線詢價
多參數(shù)水質(zhì)分析儀	面議	重慶市	重慶青天特克科技有限公司	2026-09-22	在線詢價

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