等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測(cè)儀

布賴特光學(xué)系統(tǒng)是通過(guò)HORIBA Jobin Yvon制造的一個(gè)巨大的，直徑為70 mm的偏差糾正凹面光柵而實(shí)現(xiàn)的。

等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測(cè)儀凹面光柵本身的聚光能力使其具有 比短焦距車(chē)爾尼特納型光譜儀更為明亮的一套簡(jiǎn)易光學(xué)系統(tǒng)架構(gòu)，并且可以zui小化因?yàn)殓R面及其他反射面造成的反射損失。

等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測(cè)儀背光式CCD可以達(dá)到高量子效率，確保從紫外光到可見(jiàn)光之間的寬波段范圍內(nèi)獲得穩(wěn)定的分光鏡使用。高靈敏度的測(cè)量在紫外光波段，特別是在那些較少受到干擾影響的波長(zhǎng)范圍，使終點(diǎn)監(jiān)測(cè)成為可能。應(yīng)制程控制的要求，此軟件可以執(zhí)行多種工序，從等離子體現(xiàn)象分析到測(cè)量數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)創(chuàng)建和生產(chǎn)設(shè)備的遠(yuǎn)程遙控。測(cè)量工序的可編程架構(gòu)設(shè)計(jì)使其可以對(duì)多重監(jiān)測(cè)和時(shí)序處理進(jìn)行設(shè)定。它賦予檢測(cè)器不僅可以被用于終點(diǎn)監(jiān)測(cè)，同時(shí)也可以被廣泛的用于等離子體環(huán)境下的監(jiān)測(cè)。這是一種對(duì)于等離子體異常情況進(jìn)行報(bào)警的*設(shè)計(jì)，也可以通過(guò)利用2種波長(zhǎng)之間的變換系數(shù)來(lái)指導(dǎo)終點(diǎn)測(cè)量，全回收功能，一旦收集到光譜學(xué)的數(shù)據(jù)后，對(duì)制程優(yōu)化或者終點(diǎn)監(jiān)測(cè)的模擬可以通過(guò)應(yīng)用新的制程設(shè)計(jì)反復(fù)進(jìn)行。一個(gè)用于識(shí)別等離子中發(fā)光類(lèi)別的數(shù)據(jù)庫(kù)已經(jīng)包含在內(nèi)，光譜學(xué)數(shù)據(jù)可以轉(zhuǎn)換成一個(gè)時(shí)距記錄曲線圖，或者可以通過(guò)屏幕格式，把操作波形，比對(duì)參考數(shù)據(jù)獲得的相對(duì)計(jì)算波形和其他信息顯示出來(lái)。專(zhuān)為時(shí)間記錄圖分析而準(zhǔn)備的自動(dòng)圖形軟件