SJ5100芯片線寬間距高精度測長機(jī)具有精度高、操作便攜、穩(wěn)定性強(qiáng)、功能齊全實(shí)用等優(yōu)點(diǎn)，能夠測量及檢定精密量具、精密量規(guī)，如塊規(guī)、環(huán)塞規(guī)、卡規(guī)、螺紋規(guī)、花鍵規(guī)、表類、尺類。還可以檢測各種精密工件內(nèi)外尺寸，如齒輪、花鍵、校對棒、非標(biāo)量規(guī)等，具有通用性強(qiáng)的特點(diǎn)。

SJ5100測長機(jī)采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精密研磨直線導(dǎo)軌、高精度溫度補(bǔ)償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種長度參數(shù)的高精度測量。在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。

儀器主要功能

1、標(biāo)配功能：

檢測量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；

光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；

螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校對桿：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

針規(guī)：φ0.1~φ10mm

三針：0.118~6.585mm；

兩點(diǎn)內(nèi)徑千分尺：25~300mm；

2、可選配功能：

小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；

螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；

螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；

鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標(biāo)準(zhǔn)齒輪（跨棒距測量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；

外徑千分尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：25~300mm；

數(shù)顯及游標(biāo)卡尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：75~300mm；

深度千分尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：0~25、25~50、50~75mm；

三爪內(nèi)徑千分尺手動(dòng)校準(zhǔn)：φ6~φ200mm；

表類（百分表、千分表、杠桿表手動(dòng)校準(zhǔn)）；

數(shù)顯半徑規(guī)手動(dòng)校準(zhǔn)：R5~R700mm；

軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測量；

SJ5100芯片線寬間距高精度測長機(jī)采用進(jìn)口高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進(jìn)行高精度全行程直接測量。高精度、高穩(wěn)定性：

1)高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.01μm，測量精度高；

2)精密研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)導(dǎo)軌直線度高，材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；

3)進(jìn)口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的高精度真實(shí)采集；

4)采用大理石基座，通過有限元分析優(yōu)化儀器基座結(jié)構(gòu)保障幾十年穩(wěn)定不變形，高剛性大理石底座結(jié)構(gòu)保證了儀器在頭座及工作臺在測量移動(dòng)過程中幾乎不產(chǎn)生變形，儀器受外界震動(dòng)干擾小，保證儀器的長期穩(wěn)定可靠性；

5)采用緊湊型摩擦驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，移動(dòng)摩擦驅(qū)動(dòng)力小，保證了頭座移動(dòng)過程中的穩(wěn)定性。

智能化管理與檢測軟件系統(tǒng)

1)儀器操作界面友好，操作者很容易基本掌握儀器操作，使用十分簡便；

2)十多年積累的實(shí)用軟件設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，向客戶提供簡潔、實(shí)用、便捷的操作體驗(yàn)；

3)集成眾多長度標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)程，功能*、自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的檢測報(bào)告，自動(dòng)顯示、打印、保存、查詢檢測記錄；

4)測量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的量規(guī)、量塊等長度參數(shù)測量；

5)軟件配備快速找拐點(diǎn)指示功能，方便客戶快速便攜地找到被測件的拐點(diǎn)；

6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國內(nèi)用戶服務(wù)；

7)打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢測操作時(shí)間；

8)本儀器采用計(jì)算機(jī)大容量數(shù)據(jù)庫儲存，可自動(dòng)記錄保存所有檢測結(jié)果。

高性能內(nèi)尺寸測量裝置：

配置高性能環(huán)規(guī)內(nèi)測裝置，可測量小M3螺紋環(huán)規(guī)（根據(jù)選配測針），同時(shí)可完成?。é?.8mm）光滑環(huán)規(guī)檢測（選配測針）；測量力為電子測力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由軟件選擇測力大?。筛鶕?jù)客戶需求定制更小測力）。

典型應(yīng)用案例

機(jī)械制造：在機(jī)械制造過程中，可以用來測量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。

光學(xué)加工：在光學(xué)加工領(lǐng)域中，可以用來測量光學(xué)元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。

航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來測量航空器的外形和尺寸，以及檢測零部件之間的配合精度。

主要技術(shù)指標(biāo)

環(huán)境條件

參考校準(zhǔn)/使用環(huán)境溫濕度：

溫度：20±2℃，波動(dòng)不超過0.5℃/小時(shí)

相對濕度：10~70%。

振動(dòng)：按照三坐標(biāo)振動(dòng)要求標(biāo)準(zhǔn)，振動(dòng)速度均方根≤5um/s，振動(dòng)頻率8~100Hz；

校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動(dòng)、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場。

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。