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BS/JEBG/EBG 系列電子槍

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2026-09-08
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)蘇州市
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量81
  • 人氣值1644
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用于光學(xué)薄膜及電極膜等各種薄膜形成的電子束蒸鍍用電子槍/電源。
BS/JEBG/EBG 系列電子槍 產(chǎn)品詳情

用于光學(xué)薄膜及電極膜等各種薄膜形成的電子束蒸鍍用電子槍/電源。

電子束蒸鍍法的特征

用電子束直接照射鍍膜材料進(jìn)行加熱,因此熱效率高,能蒸發(fā)高熔點金屬、氧化物、化合物、升華性物質(zhì)等各種材料。

鍍膜材料在水冷銅坩堝內(nèi)(*)被直接加熱,因此不會象電阻加熱式或感應(yīng)加熱式那樣與坩堝發(fā)生反應(yīng)。

*可能需要使用坩堝內(nèi)襯。

能迅速控制輸出,因而能精確地控制膜厚。

與濺射法及 CVD 法相比,能快速鍍膜是一大特征。

對形成1µm 以上的厚膜也很有效。

日本電子制造的電子槍/電源的特征


[ 氧化物 ]


電子束垂直照射鍍膜材料,束斑近似圓形,具有能量密度高的特征。此外,由于標(biāo)準(zhǔn)配備了快速掃描功能,非常適合蒸鍍?nèi)邳c高、熱傳導(dǎo)性低的氧化物及升華性材料,能獲得良好的熔痕,大面積的鍍膜區(qū)域上膜厚分布均勻,重現(xiàn)性好。


[ 金屬 ]


坩堝的選擇范圍很大,能進(jìn)行多種、大量、高速率的蒸鍍,還有用來抑制成膜時溫度上升的剝離工藝用電子槍。


[ 合金復(fù)合膜 ]


往臨近的兩個或三個坩堝內(nèi)充填不同的材料,使用專用的掃描控制器進(jìn)行雙源或三源蒸發(fā),可以形成合金膜和復(fù)合膜。

型號 輸出功率 偏轉(zhuǎn)角度 燈絲 電子束掃描 坩堝 氧化物 金屬
BS-60060DEBS 6.4kW 270° U字形
(長壽命)
快速
掃描
無*2 ◎ ○
BS-60050EBS 10kW 270° 無*2 ◎ ○

BS-60040VDGN 10kW 270° 無*2 ◎ ○

BS-60030DGN 10kW 270° 無*2 ◎ ○

EBG-102UB6S 10kW 180° 漩渦形 12cc×6 個 ◎ ○
EBG-102UB4S 10kW 180° 12cc×4 個 ◎ ○

JEBG-102UH0 10kW 180° 無*2 ◎ ○

BS-60210DEM
+BS-60140H4H
10kW 270° 直線線圈形
(長壽命)
中速
掃描
40cc×4 個 △ ◎
BS-60210DEM
+BS-60150H6H
10kW 270° 40cc×6 個 △ ◎

EBG-203UB6S 20kW*1 270° 漩渦形 快速
掃描
12cc×6 個*3 ○ ◎
EBG-203UB4H 20kW*1 270° 12cc×2 個 28cc
(半球)×2 個
○ ◎

JEBG-203UA0 20kW*1 270° 無*4 ○ ◎

JEBG-303UA 30kW*1 270° 無*5 ○ ◎



*1: EB電源輸出功率為16kW,實際能使用的輸出功率為16kW。

*2: 可以定制 ?12cc×4 或6個 等

*3: 坩堝小凹孔的形狀可以改變 ? 28cc(φ45×20h)×6個, 51cc(φ60×20h)×3個等。

*4: 可以定制 ?40cc(φ50×25h)×4或6個, 114cc(φ75×30h)×1個等

*5: 可以定制 ?114cc(φ75×30h)×1個, φ34×20h×3個小凹穴(同時蒸鍍用), φ70×30h×4個 等

關(guān)于坩堝規(guī)格請另行咨詢。


關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn)
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