這是一款擁有更高性能，操作更便捷的電源。

主要的特點請參照下文。

1. 提升良品率

?標(biāo)配XY掃描，環(huán)形掃描，線性掃描功能

?更加容易調(diào)整溶跡，通過優(yōu)化溶跡實現(xiàn)了蒸發(fā)分布的重復(fù)性得到了提升。

2. 減少異常放電·飛濺

?提高加速電壓的響應(yīng)性能以及通過放電抑制回路來實現(xiàn)對高速放電抑制的控制，從而大幅改善因電子槍放電造成電子束瞬間移動而產(chǎn)生的坩堝外圍附著物蒸發(fā)和蒸鍍材料飛濺的現(xiàn)象。

3. 鍍膜工序管理更加簡便

?電子槍的各種詳細設(shè)定值都通過數(shù)字的形式進行顯示和管理，更容易把握電子槍的狀態(tài)并進行管理。

?不需要額外的檢測器就可以確認電子槍的狀態(tài)，使得遠程提供技術(shù)支持和解決使用問題成為可能，有效降低時間成本。

?通過使用標(biāo)配的放電次數(shù)測算功能，可以掌握放電的發(fā)生頻率以及次數(shù)的規(guī)律，可以幫助使用者掌握真空室內(nèi)的污染狀況和電子槍的狀態(tài)。

4. 節(jié)能·精簡

?更高效的節(jié)能電源（消耗電力節(jié)省約10%）。

?更加精簡的設(shè)計。

5. JST-F電源可以直接更換

?通過安裝信號轉(zhuǎn)換器，在不改造原有蒸鍍設(shè)備的控制系統(tǒng)的狀態(tài)下將電源升級成ICE電源。

特點1    提升良品率

BS-720xxICE電源電源標(biāo)配了XY掃描，環(huán)形掃描，線性掃描，3種掃描模式。

各種模式通過調(diào)整掃描頻率，電子束停留時間，從而實現(xiàn)改善蒸鍍材料溶跡的目的。由此可以得到良好的膜厚分布，提升良品率。

［驗證實驗：不同掃描模式下的膜厚分布］

環(huán)形掃描模式下，即使深挖蒸鍍材料時，也可以實現(xiàn)穩(wěn)定的膜厚分布。

以下條件進行實驗，對ZrO2淺挖和深挖時的光學(xué)特性進行測定。

?φ1300 mm真空室。T-S距離1100 mm?；灏惭b在基板傘架的最外圍。

? ZrO2原料在不更換的前提下，同一份原料每次λ/4，進行了3輪蒸鍍。

?使用環(huán)形掃描，XY掃描，分別進行實驗

使用一份ZrO2原料，蒸鍍λ/4膜，1～3輪的光譜特性重合的圖表。

XY掃描模式時，輪（淺挖時）與第三輪（深挖時），基板傘架最外圍的光學(xué)特性出現(xiàn)偏差。

環(huán)形掃描模式時，基板傘架最外圍的光學(xué)特性一致。

ACR (Advanced Circular mode）

原有的CIRCULAR掃描上添加了XLINE掃描的停留時間設(shè)定，而產(chǎn)生的掃描模式。

可以對半徑方向上的停留時間進行更加細微的設(shè)定。

Advanced Circular mode(ACR)的運行規(guī)格

半徑方向上的停留時間并非通過數(shù)字公式，而是與原有XLINE模式一樣采用方塊設(shè)定方式，來實現(xiàn)半徑方向強弱的自由設(shè)定。

半徑方向上的停留時間并非通過數(shù)字公式，而是與原有XLINE模式一樣采用方塊設(shè)定方式，來實現(xiàn)半徑方向強弱的自由設(shè)定。

〈設(shè)定方法〉

所有為了環(huán)形硅使用而標(biāo)配的XLINE模式的波形生成方式都可以適用于Circle scan模式。半徑方向可以在20等分的范圍內(nèi)詳細設(shè)置停留時間。

特點2    減少異常放電·飛濺

BS-720xxICE電源標(biāo)配有3段式放電抑制功能。

放電抑制功能，能在電荷積聚時，將加速電壓降低到0V，電荷密度下降后重新恢復(fù)加速電壓。

BS-720xxICE電源采用了開關(guān)模式電源，加速電壓的恢復(fù)時間實現(xiàn)了以微秒為單位的高速化。

放電抑制功能啟動時，加速電壓切斷/恢復(fù)的過程中，電子束也會產(chǎn)生向坩堝外移動/恢復(fù)的現(xiàn)象。

加速電壓恢復(fù)時間越長的電源，電子束照射坩堝以外區(qū)域的時間也會相應(yīng)變長，從而造成坩堝外的附著物被加熱蒸發(fā)，成為膜中混入異物的原因。

BS-720xxICE電源的加速電壓恢復(fù)時間非常的短。

?放電抑制功能即使啟動，也不會加熱蒸發(fā)坩堝外的附著物。

?放電抑制功能即使啟動，坩堝內(nèi)的蒸鍍材料的表面溫度變化也非常小，可以保持穩(wěn)定。

由于有以上2個特點，所以可以有效減少膜中異物的混入。

［驗證實驗：加速電壓恢復(fù)時間的影響］

通過實驗驗證，非常短的加速電壓回復(fù)時間的效果。

在坩堝外放置實驗片（在低氧狀態(tài)下在可以通過顏色區(qū)分的Cu板上蒸鍍TiOX），在電子束照射到坩堝的狀態(tài)下，故意提升壓力進而造成頻繁的異常放電。

原有舊型號電源，加速電壓的恢復(fù)時間過長，電子束照射實驗片的時間也更長，TiOx被蒸發(fā)，下方的Cu顯現(xiàn)出來。

與此相比，BS-720xxICE電源的實驗片還是保持黑色的狀態(tài)。

加速電壓恢復(fù)的時間越短，實驗片被電子束照射的時間個越短，實驗片表面溫度無法上升，TiOx也就無法蒸發(fā)。

良品率比較

在實際使用用戶處，使用JST-10電源與BS-72050ICE電源對UV-IR濾膜的生產(chǎn)進行量產(chǎn)規(guī)模的良品率比較。使用BS-72050ICE電源時，通過異常放電發(fā)生時的高速恢復(fù)性能和掃描調(diào)整功能實現(xiàn)了溶跡的改善，與使用JST-10F電源相比良品率得到了改善。

特點3    鍍膜工序的管理更便捷

BS-72xxICE電源沒有配備舊式操作盤。

轉(zhuǎn)而配備了功能更加豐富的遙控器。電源的各種設(shè)定都可以通過遙控器來完成。

由于各種參數(shù)都可以通過數(shù)值來進行設(shè)定·管理，所以使用多臺電源時可以實現(xiàn)同樣的設(shè)定，可以有效防止不同設(shè)備間出現(xiàn)差異

此外當(dāng)發(fā)生設(shè)備故障以及需要技術(shù)支援時不但可以大幅度提升對應(yīng)的速度，而且由于采用數(shù)值來進行管理，所以萬一遇到特殊情況，需要恢復(fù)設(shè)定時也會更便捷。

設(shè)定的參數(shù)可以設(shè)置密碼，以此區(qū)分操作員和管理員并實現(xiàn)有效的參數(shù)管理。

進行設(shè)定時

將遙控器調(diào)整到設(shè)定模式，然后輸出數(shù)字進行設(shè)定。旋轉(zhuǎn)［Emission電流控制旋鈕］，從列表中選擇項目，進行參數(shù)數(shù)值的設(shè)定

手動模式進行蒸鍍時

可以通過遙控器上的[ACC] [FIL]ON/OFF按鍵，對ACC/FIL的ON/OFF進行操作。

[液晶顯示器]上能通過數(shù)值來表示光斑位置，掃描，Emission電流的值。

由于實現(xiàn)了Emission電流的數(shù)值顯示，所以需要重復(fù)之前的蒸鍍設(shè)定時，只需要調(diào)整到同樣的數(shù)值，就可以實現(xiàn)的重復(fù)性。

BS-720xxICE電源搭載了異常放電監(jiān)測功能。

可以通過遙控器的畫面和外部輸出信號來確認異常放電發(fā)生的次數(shù)。通過掌握異常放電的頻率和次數(shù)，從而對真空室內(nèi)的污染狀態(tài)和電子槍的狀態(tài)進行監(jiān)控，進而有效提高鍍膜工序的管理效率。

特點4    節(jié)能·精簡

更加節(jié)能

BS-720xxICE電源尺寸比JST-電源更小，設(shè)計更加精簡。

特點5    JST-F電源可以直接更換

BS-64330CNV信號轉(zhuǎn)換器是由JST-F電源更新升級成BS-720xxICE電源時使用。

安裝于蒸鍍設(shè)備與BS-720xxICE電源之間。

蒸鍍設(shè)備一側(cè)的控制系統(tǒng)不需要改造，通過信號轉(zhuǎn)換器將外部信號轉(zhuǎn)為BS-720xxICE電源用信號。

※BS-64330CNV信號轉(zhuǎn)換器使用時需要的線材，請參照「規(guī)格/配件」

其他的特點： 輸入電壓范圍寬

BS-720xxICE電源的輸入電壓規(guī)格為，更加寬180 ~ 242Ｖ電壓范圍。

一般情況下，在輸入電壓220V標(biāo)準(zhǔn)的地區(qū)，超過設(shè)備設(shè)計規(guī)格的輸入電壓變動會有造成電源過載的危險。

甚至電子束照射中出現(xiàn)輸入電壓變動會造成，電子束位置偏離以及電子束特性惡化的不良反應(yīng)，BS-720xxICE電源在輸入電壓出現(xiàn)變動時，幾乎不會對溶跡產(chǎn)生影響。