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公司介紹主營產(chǎn)品

邁可諾技術(shù)有限公司是一家致力于光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商，在中國大陸設(shè)有內(nèi)地營銷服務(wù)中心，專業(yè)經(jīng)銷歐美日韓品牌實(shí)驗(yàn)室光電半導(dǎo)體化工儀器設(shè)備，零附件，試劑耗材，對(duì)中國國內(nèi)廣大客戶提供全面的產(chǎn)品咨詢和技術(shù)*。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)RIE，全稱是ReactiveIonEtching，反應(yīng)離子刻蝕，是一種微電子干法腐蝕工藝。RIE是干法蝕刻的一種方式，其原理是當(dāng)在平板電極之間施加10～100MHZ的高頻電壓（RF，radiofrequency）時(shí)會(huì)產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層（ionsheath），在其中放入試樣，離子高速撞擊試樣而完成化學(xué)反應(yīng)蝕刻，此即為RIE（ReactiveIonEtching）。因此為了得到高......

反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)

RIE，全稱是Reactive Ion Etching，反應(yīng)離子刻蝕，是一種微電子干法腐蝕工藝。

RIE是干法蝕刻的一種方式，其原理是當(dāng)在平板電極之間施加10～100MHZ的高頻電壓（RF，radio frequency）時(shí)會(huì)產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層（ion sheath），在其中放入試樣，離子高速撞擊試樣而完成化學(xué)反應(yīng)蝕刻，此即為RIE（Reactive Ion Etching）。因此為了得到高速而垂直的蝕刻面，經(jīng)加速的多數(shù)離子不能與其他氣體分子等碰撞，而直接向試樣撞擊。為達(dá)到此目的，對(duì)真空度，氣體流量，離子加速電壓等進(jìn)行調(diào)整，同時(shí)，為得到高密度的等離子體，需用磁控管施加磁場，以提高加工能力。

　　我司提供多種型號(hào)的RIE刻蝕系統(tǒng)，滿足國內(nèi)客戶研究和生產(chǎn)的需要。

臺(tái)式RIE刻蝕機(jī)(Benchtop Reactive Ion Etching System)

深反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng)(Deep Reactive Ion Etching System)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
步入式防塵試驗(yàn)箱	面議	東莞市	東莞市高天試驗(yàn)設(shè)備有限公司	2026-09-24	在線詢價(jià)
全自動(dòng)呼吸器綜合檢測儀性能穩(wěn)定	￥910000	上海市	上海程斯智能科技有限公司	2026-09-24	在線詢價(jià)
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密封測試儀	￥15800	濟(jì)南市	蘭博（濟(jì)南）試驗(yàn)儀器有限公司	2026-09-23	在線詢價(jià)
微量元素分析儀	￥8888	青島市	青島華瑞生物科技有限公司	2026-09-21	在線詢價(jià)

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