- 設(shè)備特點(diǎn)
-
- 晶圓全自動(dòng)取放
- 人工替代,良好控制顆粒
- 高精度、高柔性六軸機(jī)械手,更穩(wěn)定、更可靠
- 半導(dǎo)體級(jí)非接觸式伯努利吸盤,吸附均勻,低破率、更安全
- 稼動(dòng)率高,有效節(jié)約客戶成本
- 產(chǎn)品應(yīng)用
-
- 晶圓尺寸4、6 英寸
- 劃傷率≤0.03%
- 通訊響應(yīng)時(shí)間<0.5 秒
- 裝卸響應(yīng)時(shí)間≤12 秒
- 適用領(lǐng)域半導(dǎo)體照明

































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