- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 沉積源工位設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)化,可通用互換,易實(shí)現(xiàn)多種組合
- 可實(shí)現(xiàn)離子預(yù)處理、磁控濺射、多弧離子鍍等功能
- 優(yōu)化的工件架設(shè)計(jì),可適用各種類型的工件
- 技術(shù)指標(biāo)
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- 腔體尺寸?700/800/900/1000/ 1200/1400mm
- 加熱溫度≤600℃
- 裝載量40-50片(按500*180mm以內(nèi)規(guī)格)
- 單爐時(shí)間90-120min
- 年產(chǎn)能氫能雙極板≥12萬片






























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