BMD P300 微波等離子體表面處理系統(tǒng)

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型號(hào)BMDP300
品牌
所在地北京市
更新時(shí)間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2252

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北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來(lái)，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來(lái)的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來(lái)，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能。

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BMDP300微波等離子體表面處理系統(tǒng)BMDP300DescumBMDP300為遠(yuǎn)程微波等離子體表面處理機(jī)臺(tái)，適用于8&12英寸晶圓的等離子體表面改性、去除殘?jiān)?、干法去膠等工藝

微波等離子體表面處理系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

BMD P300 微波等離子體表面處理系統(tǒng)

BMD P300 Descum

BMD P300為遠(yuǎn)程微波等離子體表面處理機(jī)臺(tái)，適用于8&12英寸晶圓的等離子體表面改性、去除殘?jiān)⒏煞ㄈツz等工藝。具備低損傷、高刻蝕速率、高刻蝕均勻性、高親水性、兼容大翹曲及可刻蝕不同材質(zhì)晶圓等性能優(yōu)勢(shì)。機(jī)臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，可全自動(dòng)并行作業(yè)，性能穩(wěn)定、產(chǎn)能高、客戶擁有成本低。已廣泛應(yīng)用于Flip Chip、WLCSP、Fan-out、2.5D/3D等封裝技術(shù)平臺(tái)中的等離子體表面處理工藝。

設(shè)備特點(diǎn)

8、12英寸兼容，雙片位Twins腔結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
高密度、低損傷等離子體設(shè)計(jì)
高WPH及翹曲兼容能力
具備高刻蝕速率、寬工藝窗口、優(yōu)良刻蝕均勻性及水滴角處理能力
全面的SEMI標(biāo)準(zhǔn)支持，全自動(dòng)化軟件配置

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
8/12英寸兼容
適用材料
PR, PI, PBO, BCB等
適用工藝
等離子體表面處理、殘?jiān)コ?、金屬離子去除
適用領(lǐng)域
封裝

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

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