- 設(shè)備特點(diǎn)
-
- 雙等離子源和雙區(qū)進(jìn)氣,保證高刻蝕均勻性和高刻蝕速率
- 兼容性強(qiáng),工藝種類多樣,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,系統(tǒng)可靠性強(qiáng)
- 靈活的系統(tǒng)配置,適合研發(fā)、中試線、大規(guī)模生產(chǎn)線的不同應(yīng)用
- 低擁有成本和運(yùn)營(yíng)成本
- 產(chǎn)品應(yīng)用
-
- 晶圓尺寸8英寸及以下
- 適用材料硅、SOI、SOG
- 適用工藝深硅刻蝕
- 適用領(lǐng)域微機(jī)電系統(tǒng)、科研領(lǐng)域




































隆德县|
洛南县|
太康县|
贺兰县|
昌乐县|
洛南县|
饶河县|
鄂伦春自治旗|
建水县|
屯门区|
黔南|
东兴市|
西丰县|
陇南市|
沭阳县|
曲沃县|
连山|
五原县|
元朗区|
邮箱|
江源县|
武川县|
荣成市|
建昌县|
新丰县|
和平区|
沅陵县|
陕西省|
西丰县|
交城县|
深圳市|
荥经县|
双峰县|
呼玛县|
武义县|
巍山|
仁化县|
罗山县|
江门市|
鄄城县|
金山区|