型號:JKZC-PRJ750

（一）產品概述:

JKZC-PRJ750是一款真空平板熱壓機，專為晶圓鍵合、薄膜轉移和 LCP 層壓設計，加熱面積為 135x135mm~350x350mm。其最高工作溫度為 750℃，最大壓力為20T~40T。

（二）基本參數(shù)：

（三）真空平板熱壓機結構

兩塊塊加熱平板最高工作溫度750℃，采用高溫合金制作加熱元件插入加熱板的中心，以實現(xiàn)快速加熱。

2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫，50段程序控溫在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管，以輔助散熱。進/出水管為外徑12mm聚氨酯管

（四）壓機參數(shù)：

1、壓缸行程：40mm

2、壓力顯示范圍:2.00-5000.00kg

3、壓力控制范圍:50-5000Kg

4、壓機：保壓時間:1-9999min

5、設備有兩種工作模式:手動加壓和自動加壓。自動加壓模式下設備帶有恒壓功能:當壓力值達到目標值后，在保壓的過程中，設備持續(xù)補壓使壓力保持在設定值。

6、恒壓精度:±3kg

7、溫度控制和壓力顯示：2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫，50段程序控溫，控溫精度土3℃溫度控制器具備 PID 自動校準功能、過熱保護以及斷熱電偶保護功能。最高工作溫度:750℃<30分鐘，連續(xù)工作溫度700℃(情性氣氛或真空環(huán)境下)最高加熱速率:5℃/min

8、溫度控制和壓力顯示：控制面板內內置了一款數(shù)字壓力計(控制器)。您可以設定所需的壓力值，這樣就能使電動液壓機到達壓力值時自動恒壓。

（四）真空腔體

1、電動液壓機和加熱板被放置在真空室內部

2、真空室由： ss304 不銹鋼制成

3、真空腔體安裝有一個真空密封門，直徑300mm,有一個直徑150m的石英窗口，4、便于裝樣品和觀察：所有真空密封均使用硅橡膠0型圈

5、可選購安裝了一個數(shù)字真空計(10E-4Torr)測量真空腔室的真空度

可選可選購設備(需額外費用)

5、需要一臺循環(huán)水冷機，用于對過熱的散熱板進行冷卻，以加快冷卻速度?？蛇x購真空泵，機械泵抽真空度300mTorr，分子泵系統(tǒng)抽真空度10-4Torr

 應用注意：

此款熱壓機也可用于測量熱電發(fā)電機模塊(頂部受熱，底部冷卻)