AP-110R壓力控制器MEGATORR

AP-110R壓力控制器MEGATORR

非加熱型槽閥MR15KFVSP572，MR18KFVSF605，MR30ITV000SN，MR15KFVSF116，MR18KFVSF605，MR40ISV00OSF，MR60ISV000SF，MR40JIV000SF，MR60JIV000SF，MR50KFV15PSN，MR40ISV15PSN，MR60ISV15PSN，自加熱型開槽閥，廣域閥門NW50系列，壓力控制器AP430，AP-110R

產(chǎn)品介紹

非加熱槽閥

通過將閥體部分設(shè)置為0～90°可變，實現(xiàn)真空壓力控制的節(jié)流（蝶形）閥?？梢愿咚夙憫?yīng)和高再現(xiàn)性地控制各種真空腔室（蝕刻/CVD裝置等）的壓力。通過與AP系列控制器/電容式壓力計配合使用，可以在半導(dǎo)體等過程中實現(xiàn)高速響應(yīng)和高再現(xiàn)性的真空壓力控制。

自加熱型開槽閥

Megatorr獨自技術(shù)的自加熱型開槽閥，是在凸緣夾入三明治狀的加熱器，另外閥體也埋入加熱器的自加熱型。

支持高達200℃，溫度均勻性優(yōu)異，抑制沉積物，大幅提高維護性和生產(chǎn)性。

廣域閥門

在傳統(tǒng)的真空壓力控制中，由于工藝的多樣化，壓力控制范圍也呈現(xiàn)出多樣化的趨勢，特別是在低真空（高壓力）下的壓力控制需求不斷增加。閥門加熱溫度也由于工藝氣體的多樣化，要求更高的溫度。為了滿足這一需求，我們開發(fā)了這款廣域閥門。

廣泛的pressure控制范圍：可以在101.33kPa（大氣壓）至10Pa以下（760Torr至70mTorr以下）進行控制，并且可以加熱到200℃。

壓力控制器(AP430)

AP系列是與電容式壓力計（絕對壓力真空計）、旋塞閥組合使用的壓力控制器。可從自適應(yīng)/PID/混合三種控制方式中選擇控制方法，確保對半導(dǎo)體/FPD/太陽能電池等制造設(shè)備所需的高速響應(yīng)、高再現(xiàn)性的真空壓力控制進行可靠控制。也可以通過前面板進行設(shè)置，因此操作非常簡單。此外，由于獲得了CE標志和RoHS認證，該產(chǎn)品在全球各種產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)設(shè)備中得到了廣泛使用。