單軸/三軸任選、多探頭可配，PLR3000納米級(jí)精度光纖激光尺靈活適配各類測(cè)量需求。

不同設(shè)備、不同生產(chǎn)場(chǎng)景，對(duì)測(cè)量的自由度、安裝方式要求千差萬(wàn)別。標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量設(shè)備往往難以適配，要么功能冗余浪費(fèi)成本，要么滿足不了核心需求。PLR3000系列光纖激光尺支持靈活配置，可按需定制測(cè)量方案，適配各類復(fù)雜工況。

在測(cè)量自由度上，支持單軸、雙軸、三軸輸出，無(wú)論是簡(jiǎn)單的直線位移測(cè)量，還是多自由度位置檢測(cè)，都能按需匹配，不用為多余功能買單。

在探頭選型上，提供差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭可選：差分探頭適配高精度位移臺(tái)閉環(huán)控制，平面鏡探頭適合長(zhǎng)行程測(cè)量，角錐棱鏡探頭安裝容錯(cuò)性更高，可對(duì)應(yīng)不同安裝條件與精度要求。

同時(shí)產(chǎn)品支持量程拓展，標(biāo)準(zhǔn)4米量程可根據(jù)需求升級(jí)，兼顧微小行程精密測(cè)量與大行程位移檢測(cè)。

PLR3000納米級(jí)精度光纖激光尺基于激光干涉測(cè)量原理，專為超精密制造場(chǎng)景打造，目前已廣泛適配四大核心領(lǐng)域：

- 半導(dǎo)體與光刻領(lǐng)域：支撐晶圓加工、光刻設(shè)備的位移檢測(cè)與閉環(huán)控制，匹配納米級(jí)制程精度要求；

- 精密機(jī)床與裝備制造：有效抵消環(huán)境溫變、設(shè)備散熱帶來(lái)的測(cè)量誤差，保障加工精度長(zhǎng)期一致；

- 微電子、微機(jī)械、微光學(xué)領(lǐng)域：10nm級(jí)分辨率滿足微小器件的加工與檢測(cè)需求；

- 精密檢測(cè)與實(shí)驗(yàn)設(shè)備：配套納米位移臺(tái)、測(cè)量平臺(tái)實(shí)現(xiàn)高精度位置控制。

針對(duì)不同場(chǎng)景的安裝空間、測(cè)量自由度需求，產(chǎn)品還支持靈活配置方案，助力各領(lǐng)域企業(yè)突破精度瓶頸、穩(wěn)定提升良率。如果您正面臨測(cè)量精度不足的難題，歡迎咨詢獲取專屬場(chǎng)景方案。

無(wú)論是新設(shè)備配套研發(fā)，還是舊產(chǎn)線精度升級(jí)，PLR3000都能通過(guò)靈活配置方案貼合您的實(shí)際需求。如需定制化配置方案，可隨時(shí)聯(lián)系技術(shù)團(tuán)隊(duì)對(duì)接。

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級(jí)實(shí)時(shí)更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。