對(duì)于工業(yè)測(cè)量設(shè)備而言，參數(shù)是性能最直觀的體現(xiàn)，也是企業(yè)選型的核心依據(jù)。PLR3000系列光纖激光尺以激光干涉測(cè)量為核心原理，核心參數(shù)全面適配超精密制造需求，可穩(wěn)定支撐設(shè)備集成與產(chǎn)線升級(jí)。

核心技術(shù)指標(biāo)如下：

1. 精度指標(biāo)：線性測(cè)量精度0.2ppm，激光穩(wěn)頻精度0.02ppm，標(biāo)準(zhǔn)分辨率10nm且支持拓展，可滿足納米級(jí)測(cè)量與位置控制需求；

2. 環(huán)境補(bǔ)償：標(biāo)配環(huán)境氣象站，實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、濕度、氣壓對(duì)激光波長(zhǎng)的影響，抵消車間環(huán)境波動(dòng)帶來的測(cè)量偏差；

3. 量程與速度：標(biāo)準(zhǔn)最大量程4米（支持拓展），動(dòng)態(tài)測(cè)量速度可達(dá)2m/s，覆蓋靜態(tài)精密檢測(cè)到高速運(yùn)動(dòng)控制全場(chǎng)景；

4. 結(jié)構(gòu)配置：光源與探頭分離設(shè)計(jì)，3米鎧裝光纖連接；支持單軸、雙軸、三軸多自由度輸出，可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭。

所有參數(shù)均經(jīng)過工況驗(yàn)證，可直接配套設(shè)備集成。如需詳細(xì)參數(shù)手冊(cè)與選型指導(dǎo)，可隨時(shí)聯(lián)系獲取。

客戶實(shí)測(cè)驗(yàn)證：PLR3000系列光纖激光尺實(shí)現(xiàn)10mm行程內(nèi)納米級(jí)位置控制

設(shè)備性能好不好，實(shí)際落地效果最有說服力。PLR3000光纖激光尺上市以來，已在多家制造客戶端完成精度驗(yàn)證與落地應(yīng)用，其中納米位移臺(tái)閉環(huán)控制項(xiàng)目的實(shí)測(cè)表現(xiàn)，充分驗(yàn)證了產(chǎn)品的納米級(jí)控制能力。

在該客戶項(xiàng)目中，采用PLR3000搭配差分干涉（DI）探頭，對(duì)高精度納米位移臺(tái)進(jìn)行全行程閉環(huán)控制。實(shí)測(cè)結(jié)果顯示，在10mm行程內(nèi)的任意位置，均可穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位置控制精度，解決了此前傳統(tǒng)測(cè)量方案精度不足、控制波動(dòng)大的痛點(diǎn)，滿足客戶微納加工、精密檢測(cè)的核心需求。

除位移臺(tái)配套場(chǎng)景外，該系列產(chǎn)品在半導(dǎo)體設(shè)備、精密機(jī)床、微光學(xué)加工等多個(gè)客戶端的落地驗(yàn)證也在穩(wěn)步推進(jìn)中，均獲得正向反饋。如果您也有高精度位移測(cè)量需求，我們可提供樣件測(cè)試與方案驗(yàn)證服務(wù)，助力您的設(shè)備實(shí)現(xiàn)精度升級(jí)。

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級(jí)實(shí)時(shí)更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。