激光編碼器，又稱光纖激光尺、激光干涉尺，它是利用激光干涉的原理對位移進行高精度測量輸出，完成實時控制的閉環(huán)應用。是一種基于激光干涉測量原理的高精度、高靈敏度、高速度的位置檢測設備，主要功能是位移高精度測量，閉環(huán)控制。廣泛應用在超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域中。

一、產品特點

1.激光編碼器測量精度可達0.2-0.5ppm，測量距離100mm，測量精度高于0.5μm，實現(xiàn)細分精度小于1nm；

2.激光干涉測量速度快，可達2000mm/s以上；

3.測量量程可以達到4m以上，可定制40米；

4.安裝簡便，對安裝面無特殊要求，角錐與激光探頭相對在一條直線上即可，直線度要求不高，因為激光探頭有調整裝置，可以很方便的將激光光束對準；

5.受環(huán)境影響小，其光波長的熱膨脹很小，再疊加環(huán)境補償系統(tǒng)的補償，相當于一個0膨脹系數(shù)的光柵尺；

6.輸出接口多樣，主機輸出接口包含USB接口和位置輸出接口，位置輸出接口有數(shù)字正交編碼輸出(TIA/EIA-422)、正余弦信號輸出(1Vpp)、USB-SDK開發(fā)包。

二、解決4大核心問題

三、應用場合

1.高精度數(shù)控機床的位置反饋

如加工航空航天設備的高精度大型機床，此時就需要激光閉環(huán)來滿足需求。

2.高精度大型三坐標測量機

大型工件測量往往對精度和量程要求很高，同時還對溫度非常敏感，光纖激光干涉尺的環(huán)境補償組件可以度溫度進行補償，使之更合適高精度大型三坐標測量機使用。

3.光刻機

光纖激光尺的高精度、高抗震性能，非常適合光刻機使用。

4.普通光柵尺刻劃、檢驗

由于光纖激光尺的測量精度高出普通光柵尺一個數(shù)量級，故可以使用光纖激光尺作為“母光柵”進行光柵尺的刻劃、檢驗工作。

5.高精度運動平臺

光纖激光尺安裝在高精度直線電機上，做高精度直線點擊的反饋，可直接提升運動平臺的控制精度。

6.其他檢驗檢測設備

配合高精度圓光柵，可以做絲杠導程誤差的檢測。雙軸測量可減小阿貝誤差，降低機械成本。

四、定制化支持

按需提供量程拓展、線纜定制、探頭配置等個性化方案，精準匹配客戶具體場景（如8m長行程機床、5m航空部件檢測）。

如需了解參數(shù)細節(jié)、合作政策或獲取樣品測試，歡迎聯(lián)系中圖儀器！

注：產品參數(shù)隨技術迭代優(yōu)化，相關內容可能實時更新，恕不另行通知。