MPI TS2000是世界范圍內(nèi)成熟的探針系統(tǒng)的自然演變，其專用設(shè)計滿足半導體測試市場的要求。該系統(tǒng)與所有MPI系統(tǒng)附件兼容，主要用于解決故障分析，設(shè)計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件測試的特殊要求。

產(chǎn)品描述

TS2000可用于環(huán)境溫度和/或僅熱溫度操作模式，速度快達10 Dies /秒（取決于最終配置），這使其成為離散RF設(shè)備上預生產(chǎn)電氣測試的理想選擇，例如：

1. 適用于多種量產(chǎn)型晶圓量測應(yīng)用

• 模塊量測-DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 射頻量測-至高 67 GHz
• 高功率量產(chǎn)測試-至高 10 kV / 600 A
• 集成電路設(shè)計驗證-室溫至 300 °C

2. 量產(chǎn)可靠性

專為24/7 穩(wěn)定可靠的量產(chǎn)測試而設(shè)計

內(nèi)建被動式防震桌

可另選配避震基座

適用于室溫至300 °C量測

3. 工效學設(shè)計及彈性選配

簡易便利的前門單晶圓上片設(shè)計

大面積工作臺設(shè)計，可乘載至多12x DC或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”標準探針卡夾具

另有多種晶圓載物臺、4.5“探針卡夾具可做選擇，亦有諸多配件如 DC/RF 微定位器、光學顯微鏡等可搭載，以支援您的應(yīng)用需求

特點與優(yōu)勢

1. 廣泛使用大探針壓板

TS2000系列提供大型，易于接近的探頭壓板，可容納多達12x DC或4x RF MicroPositioners

負載牽引調(diào)諧器或更大面積的MicroPositioners 的集成使TS2000系統(tǒng)成為RF和mmW測量的理想選擇

2. 易于晶圓裝載

大型前門通道可輕松裝載/卸載100，150，200mm晶圓，晶圓碎片或甚至小于5*5mm IC

AUX卡盤位于前面，可以方便地裝載/卸載。沒有推出階段允許用于RF校準和探針卡清潔的簡單自動化方法

3. 集成硬件控制面板

智能硬件控制面板集成到探頭系統(tǒng)中,基于數(shù)十年的經(jīng)驗和客戶交互設(shè)計,提供更快,更安全,更方便的系控制和測試操作

如有必要,鍵盤和鼠標的位置可以控制軟件,還可以控制基于Windows的儀器。

用于晶圓和AUX卡盤的真空控制面板位于右前側(cè),便于在裝載/卸載過程中進行操作。

4. 熱卡盤集成

熱卡盤 (從20℃ 或環(huán)境溫度到300℃) 可以使用集成的觸摸屏顯示器進行操作, 放置在操作員面前的方便位置, 以便快速操作和立即反饋。

5. P探針卡和微型定位器-同時進行

許多單探頭，用于4.5”×11” 探針卡的薄型探針卡固定器, 以及較低的板與卡盤距離, 是使用有源探頭同時探測的理想選擇, 使該系統(tǒng)成為設(shè)計驗證和成故障分析工作的理想選擇。

6. 集成 DarkBox

TS2000D就是已集成 Dark Box的TS2000!

該系統(tǒng)專為占地面積, 嵌入式互鎖, LED照明和各種測量儀器的標準化接口面板而設(shè)計, 是光和激光安全保護測試環(huán)境的。

從后面板輕松訪問, 可以快速, 方便地重新配置或初始設(shè)置

7. 儀器集成

可選的儀器架減少了電纜長度, 提高了F和mmW應(yīng)用的測量動態(tài)和方向性

8. 隔振

T52000采用兩種類型的隔振解決方案,可在不網(wǎng)的實驗室測試環(huán)境中更好地運行。總占地面積與工業(yè)中常用的現(xiàn)有獨立振動隔離表相當或更小

9. 軟件套件 SENTIO

MPI自動化工程探針系統(tǒng)由獨特且革命性的多點觸控操作控制 SENTIO軟件套件—簡單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓時間，Scroll、Zoom，Move命令模仿現(xiàn)代智能移動設(shè)備，讓每個人能在幾分鐘內(nèi)成為專家。

對于RF應(yīng)用，無需切換到另一個軟件平臺-MPI RF校準軟件程序QAlibria與 SENTIO集成-通過遵循單一操作概念方法易于使用