TS2500-RF-款專用于射頻生產(chǎn)測(cè)試的全自動(dòng)探頭系統(tǒng)。MPI公司通過(guò)在不到兩年的時(shí)間內(nèi)推出十幾種新產(chǎn)品，迅速成為我們服務(wù)市場(chǎng)的創(chuàng)新。MPI的產(chǎn)品創(chuàng)新是專用于射頻（RF）生產(chǎn)測(cè)試的全自動(dòng)探針系統(tǒng)。該系統(tǒng)與所有MPI系統(tǒng)附件兼容，專為滿足生產(chǎn)級(jí)高級(jí)RF設(shè)備測(cè)試的需求而設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品描述

1. 適用于多種量產(chǎn)型晶圓量測(cè)應(yīng)用

可同時(shí)進(jìn)行DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV量測(cè)

射頻量測(cè)-至高 67 GHz

2. 量產(chǎn)可靠性

專為24/7 穩(wěn)定可靠的量產(chǎn)測(cè)試而設(shè)計(jì)

3. 工效學(xué)設(shè)計(jì)及彈性選配

簡(jiǎn)易便利的前門單晶圓上片設(shè)計(jì)

大面積工作臺(tái)設(shè)計(jì)，可乘載至多12x DC或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具

雙晶圓拾取器和內(nèi)建的預(yù)對(duì)準(zhǔn)功能，有效提升產(chǎn)出

另有多種晶圓載物臺(tái)和配件可做選擇

標(biāo)準(zhǔn)配備有偏心軸晶圓對(duì)準(zhǔn)鏡頭

另有向上影像鏡頭可選配，協(xié)助探針-待測(cè)物對(duì)準(zhǔn)

可選配薄晶圓處理選項(xiàng)

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

1. 薄晶圓處理 Thin wafer handing

S2500-RF卡盤和晶圓提升銷的獨(dú)特設(shè)計(jì)可以安全地處理厚度低至50微米的晶圓，從而可以測(cè)試具有挑戰(zhàn)性的薄III-Vs化合物晶圓

射頻卡盤包括兩個(gè)由特殊陶瓷材料構(gòu)成的輔助卡盤組成，用于精確的射頻校準(zhǔn)。輔助卡盤和熱卡盤還可用于保持探針清潔作用

2. 高吞吐量 High throughput

自動(dòng)化包括雙端部執(zhí)行器和雙晶圓盒式磁帶支架，適用于150mm或200mm晶圓，可提供高效的晶圓交換和更高的測(cè)試速度。TS2500-RF的速度可達(dá)10片/秒（取決于最終系統(tǒng)配置），這使其成為分立式射頻器件和集成電路（IC）生產(chǎn)電氣測(cè)試的理想選擇

3. 校準(zhǔn)系統(tǒng) Advanced alignment

的校準(zhǔn)功能，如離軸和卡盤安裝的上部相機(jī)，使TS2500-RF成為在復(fù)雜RF測(cè)量配置中進(jìn)行測(cè)試的理想平臺(tái)。 MPI Photonics自動(dòng)化部門數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)使這些功能更加可靠

4. 完整的測(cè)試方案 Complete test solution

TS2500-RF可配置MPI的RF附件，如RF MicroPositioners，RF電纜，校準(zhǔn)基板和TITANRF探頭，以確保更加精準(zhǔn)的RF測(cè)量

隨著VNA與DUT的集成，MPI與Rohde＆Schwarz的合作以及新的校準(zhǔn)技術(shù)，使TS2500-RF成為一個(gè)能夠處理RE生產(chǎn)測(cè)試復(fù)雜性的全面測(cè)量解決方案