TS2500-RF-款專用于射頻生產(chǎn)測試的全自動探頭系統(tǒng)。MPI公司通過在不到兩年的時間內(nèi)推出十幾種新產(chǎn)品，迅速成為我們服務(wù)市場的創(chuàng)新。MPI的產(chǎn)品創(chuàng)新是專用于射頻（RF）生產(chǎn)測試的全自動探針系統(tǒng)。該系統(tǒng)與所有MPI系統(tǒng)附件兼容，專為滿足生產(chǎn)級高級RF設(shè)備測試的需求而設(shè)計。

產(chǎn)品描述

1. 適用于多種量產(chǎn)型晶圓量測應(yīng)用

可同時進行DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV量測

射頻量測-至高 67 GHz

2. 量產(chǎn)可靠性

專為24/7 穩(wěn)定可靠的量產(chǎn)測試而設(shè)計

3. 工效學設(shè)計及彈性選配

簡易便利的前門單晶圓上片設(shè)計

大面積工作臺設(shè)計，可乘載至多12x DC或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”標準探針卡夾具

雙晶圓拾取器和內(nèi)建的預(yù)對準功能，有效提升產(chǎn)出

另有多種晶圓載物臺和配件可做選擇

標準配備有偏心軸晶圓對準鏡頭

另有向上影像鏡頭可選配，協(xié)助探針-待測物對準

可選配薄晶圓處理選項

特點與優(yōu)勢

1. 薄晶圓處理 Thin wafer handing

S2500-RF卡盤和晶圓提升銷的獨特設(shè)計可以安全地處理厚度低至50微米的晶圓，從而可以測試具有挑戰(zhàn)性的薄III-Vs化合物晶圓

射頻卡盤包括兩個由特殊陶瓷材料構(gòu)成的輔助卡盤組成，用于精確的射頻校準。輔助卡盤和熱卡盤還可用于保持探針清潔作用

2. 高吞吐量 High throughput

自動化包括雙端部執(zhí)行器和雙晶圓盒式磁帶支架，適用于150mm或200mm晶圓，可提供高效的晶圓交換和更高的測試速度。TS2500-RF的速度可達10片/秒（取決于最終系統(tǒng)配置），這使其成為分立式射頻器件和集成電路（IC）生產(chǎn)電氣測試的理想選擇

3. 校準系統(tǒng) Advanced alignment

的校準功能，如離軸和卡盤安裝的上部相機，使TS2500-RF成為在復雜RF測量配置中進行測試的理想平臺。 MPI Photonics自動化部門數(shù)十年的經(jīng)驗使這些功能更加可靠

4. 完整的測試方案 Complete test solution

TS2500-RF可配置MPI的RF附件，如RF MicroPositioners，RF電纜，校準基板和TITANRF探頭，以確保更加精準的RF測量

隨著VNA與DUT的集成，MPI與Rohde＆Schwarz的合作以及新的校準技術(shù)，使TS2500-RF成為一個能夠處理RE生產(chǎn)測試復雜性的全面測量解決方案