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上海納騰儀器有限公司是一家專注于為微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為

全國(guó)各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供*的微納米科學(xué)儀器。

目前上海納騰已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供微納米科學(xué)儀器的企業(yè)，在微納加工儀器，微納表征儀器，微納儀器耗材，微納加工測(cè)試等相關(guān)領(lǐng)域，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售中、售后的服務(wù)。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

X射線菲涅耳波帶板（FZP）

X射線菲涅耳波帶板（FZP）產(chǎn)品詳情

NTT的FZP由干法蝕刻的Ta組成。具有出色的高耐X射線輻射性、高分辨率和高對(duì)比度,吸收體圖案清晰，S/N比高，成像缺陷少, 能理想地應(yīng)用于X射線顯微鏡、X射線微光束輻射和X射線成像。
另外，還提供用于軟X射線和極紫外（EUV、XUV）領(lǐng)域的Ta圖案／SiN膜型FZP和Au板圖案／SiN 膜型FZP。并提供臺(tái)階式（基諾全息照片）FZP

型號(hào)	寬高比	膜材料	膜厚度（μm）	ΔRn （nm）	D （μm）	N	Tm （nm）
FZP-S38/84	4.2	SiN	0.15	38	84	550	160
FZP-S50/80	5	SiN	0.2	50	80	400	250
FZP-S40/155	5	SiN	2	40	155	970	200
FZP-S50/330	8	SiN	1	50	330	1,650	400
FZP-S86/416	8	SiN	2	86	416	1,200	700
FZP-100/155	8	SiN	2	100	155	388	800
FZP-173/208	5.8	SiN	2	173	208	300	1,000
FZP-200/206	8	SiN	2	200	206	255	1,600
FZP-C234/2500	0.6	SiC	0.2	234	2,500	2,670	150

NTT-AT的EUV-FZP針對(duì)EUV波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化。

薄膜上的Ta吸收劑圖案實(shí)現(xiàn)低于100nm / a

少數(shù)100納米聚焦和成像等

- EUV顯微鏡

- EUV納米束生成

- 超精細(xì)EUV檢查

關(guān)鍵詞：顯微鏡

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產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
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