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全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供*的微納米科學(xué)儀器。

目前上海納騰已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供微納米科學(xué)儀器的企業(yè)，在微納加工儀器，微納表征儀器，微納儀器耗材，微納加工測試等相關(guān)領(lǐng)域，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的團隊。能夠出色地完成售中、售后的服務(wù)。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

內(nèi)應(yīng)力檢測儀

內(nèi)應(yīng)力檢測儀產(chǎn)品詳情

具備化合物晶圓內(nèi)應(yīng)力分布測量及缺陷篩查等檢測功能

。

優(yōu)勢

√ 基于雙折射應(yīng)力測量模型實現(xiàn)應(yīng)力瞬時測量，顯示應(yīng)力二維分布偽彩圖

√ 采用雙遠心檢測光路，相位延遲測量精度高

√ 根據(jù)不同測量視場要求，多種鏡頭可選

√ 訂制化樣品托盤，適應(yīng)不同規(guī)格晶圓批量測試

適用對象

適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學(xué)元件（平晶，棱鏡，波片，透鏡等）的內(nèi)應(yīng)力檢測

適用領(lǐng)域

面向化合物晶圓生產(chǎn)、光學(xué)精密加工等行業(yè)

檢測原理

√ 基于偏振光應(yīng)力雙折射效應(yīng)檢測晶圓材料內(nèi)部應(yīng)力分布。當(dāng)晶體材料由于內(nèi)部缺陷存在應(yīng)力集中時會導(dǎo)致應(yīng)力雙折射效應(yīng)，偏振光透過它時會發(fā)生偏振態(tài)調(diào)制，通過測量透射光的斯托克斯矢量可以推算??材料的應(yīng)力延遲量，從而得到材料內(nèi)應(yīng)力分布；

√ 可同步集成晶圓表面缺陷暗場檢測和尺寸量測。

熱門產(chǎn)品

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