簡介

FT-NMT04納米機械測試系統(tǒng)是一種多功能的原位掃描電鏡/光纖納米壓頭，能夠準確量化材料在微觀和納米尺度上的力學行為。

作為一個基于MEMS的納米壓頭，F(xiàn)T-NMT04基于專用的Femtotools微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術。利用二十多年的技術創(chuàng)新，這種原位納米壓頭具有的分辨率、重復性和動態(tài)響應。 FT-NMT04原位納米壓頭用于金屬、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微觀結構的力學測試。此外，通過使用各種附件，F(xiàn)T-NMT04的性能可以擴展到各個研究領域的通用要求。 典型的應用包括通過對微孔的壓縮試驗或對骨標本、薄膜或納米線的拉伸試驗來量化塑性變形機制。此外，壓縮試驗過程中的連續(xù)剛度測量可以量化微梁斷裂試驗過程中的裂紋擴展和斷裂韌性。由于500 pn和50 pm的低噪聲地板分別，F(xiàn)T-NMT04淺納米壓痕具有的重復性，以及納米壓痕與EBSD映射的相關性。

二、 功能

l 主要功能

FT-MNT04原位SEM納米壓痕儀，可以做納米壓痕、微柱壓縮測試、微懸臂梁斷裂測試、為拉伸測試、STEM/EBSD相關的原位納米機械測試。其中納米壓痕功能可以進行低體積材料硬度和楊氏模量的測定、定 接觸力學和動力響應的量化、多軸應力下變形機理的表征；微柱壓縮測試功能可以進行滑動系統(tǒng)臨界剪切應力的測定、單軸應力下變形機理的表征、延伸損傷和局部應變量化；微懸臂斷裂測試功能可以進行亞微米斷裂韌性連續(xù)J積分、單調循環(huán)斷裂行為的表征、單個裂紋產生和擴展的量化。微拉伸測試功能可以進行屈服應力、極限拉伸應力和斷裂伸長的測定、單調循環(huán)載荷下斷裂的表征、局部應變效應和裂紋擴展的量化；STEM/EBSD相關的原位納米機械測試功能可以進行局部應變的定量研究、相變的定量研究、紋理演化的定量研究、位錯動力學定量研究、晶界遷移的定量研究 。

l 技術特點

納米壓痕、壓縮、張力、斷裂和疲勞試驗

無需復合、動態(tài)校準即可進行連續(xù)硬度測量或疲勞測試

高溫測試溫度可達400℃

壓頭面積函數(shù)和框架合規(guī)性的簡單確定

功率數(shù)據(jù)分析工具，用于評估測量結果和擬合功能計算材料性能

可快速安裝和移除SEM腔室

緊湊，模塊化的設計能夠集成到幾乎所有的掃描電鏡中

可定制測量程序

l 技術能力

力感測

-力：200 mN

-力噪聲地板：0.5 nN（10 Hz時）

-測量頻率高達96 kHz

位移傳感（粗）

-位移范圍：21 mm

-位移噪聲：1nm（10Hz）

-測量頻率：50Hz

位移傳感（精細）

-位移范圍：25μm

-位移噪聲：0.05nm（10Hz）

-測量頻率高達96 kHz

3、4和5軸力傳感器與樣品對準

-X、Y、Z閉環(huán)定位范圍：21mm x 12mm x 12 mm

-X、Y、Z閉環(huán)定位噪聲：1nm

-樣品傾斜范圍：90°

-樣品旋轉范圍：360°(FT-NMT04-XYZ-R)，180°(FT-NMT04-XYZ-RT)

-樣品角噪聲：35微度